凹形间隔件晶圆孔洞及形成于其中的晶圆位准光学组件

摘要

本发明揭示一种晶圆位准光学组件，及形成它们于其中的凹形间隔件晶圆孔洞。晶圆位准光学组件包含间隔件晶圆，其包含多个孔洞。各孔洞具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，及与该平面横剖面相交的溢流区。晶圆位准光学组件亦包含光学组件的数组，数组的各光学组件是由硬化的可流动材料形成于多个孔洞的个别的一者内。形成各光学组件的硬化的可流动材料的一部分扩展进入至多个孔洞的个别孔洞的溢流区内。间隔件晶圆包含多个孔洞，多个孔洞中的每个具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状。多个孔洞中的每个包含与该平面横剖面相交的溢流区。

说明书

背景技术

在晶圆位准的相机透镜的制造中，间隔件晶圆包含间隔件晶圆孔洞的数组或图案。诸 如可紫外线硬化的聚合物的液体沉积至各孔洞内，且通过制造母体、模具、或压型机而被 浇铸成型为中间的或最终的形状。浇铸成型的聚合物接着被硬化以形成固体透镜。

在浇铸成型的步骤中，过多的聚合物溢流自间隔件晶圆孔洞，若不适当处理时，其可 减低生产产能。容纳溢流材料的一个方法在于定间隔件晶圆孔洞的尺寸，以不仅跨距透镜 直径而且跨距其中收集溢流材料在内的制造母体与间隔件晶圆间的空位区或溢流区。但是， 通过增加间隔件晶圆孔洞的直径，空位可能限制晶圆晶粒计数(每晶圆组成可被制造出的晶 粒位准相机的数目)。空位亦可能在相机形成的影像中引入杂散光加工物。

在间隔件晶圆孔洞中所分配的聚合物体积的精准控制亦可降低由于聚合物溢流所导致 的产能损失。然而，该控制的校准及维持将增加制造成本。

在使用诸如，悬置式透镜的悬置式晶圆位准光学组件的晶圆位准光学装置的制造处理 中，高的产能需要各浇铸成型透镜对其个别的间隔件晶圆孔洞侧壁表面的充分黏着。为改 善此表面黏着的先前技艺方法包含施加表面处理至间隔件晶圆孔洞的侧壁。

发明内容

依据一实施例，提供晶圆位准光学组件。晶圆位准光学组件包含具有多个孔洞的间隔 件晶圆。各孔洞具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状。多个孔洞中的每个包含与 该平面横剖面相交的溢流区。晶圆位准光学组件亦包含光学组件的数组，数组的各光学组 件由硬化的可流动材料形成于多个孔洞中个别的一个内。形成各光学组件的硬化的可流动 材料的一部分扩展进入至多个孔洞中的个别孔洞的溢流区内。

依据另一实施例，提供间隔件晶圆。间隔件晶圆包含多个孔洞，多个孔洞中的每个具 有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状。多个孔洞中的每个包含与该平面横剖面相交 的溢流区。

附图说明

图1显示结合至行动电话的相机模块内的先前技艺晶圆位准光学组件。

图2显示包含间隔件区及先前技艺间隔件晶圆孔洞的数组的先前技艺间隔件晶圆。

图3是先前技艺间隔件晶圆孔洞的平面视图。

图4是形成于先前技艺凸形间隔件晶圆孔洞内的先前技艺在口袋式晶圆位准光学组件 的横剖面视图。

图5是形成于凸形间隔件晶圆孔洞内的先前技艺悬置式晶圆位准光学组件的横剖面视 图。

图6显示实施例中的包含间隔件晶圆孔洞的数组的间隔件晶圆，其中至少一孔洞是凹 形。

图7是实施例中的凹形间隔件晶圆孔洞的平面视图。

图8是实施例中的形成于图7的凹形间隔件晶圆孔洞内的在口袋式晶圆位准光学组件 的第一横剖面视图。

图9是实施例中的形成于图7的凹形间隔件晶圆孔洞内的在口袋式晶圆位准光学组件 的第二横剖面视图。

图10是实施例中的形成于凹形间隔件晶圆孔洞内，且由薄膜所悬置的悬置式晶圆位准 光学组件的第一横剖面视图。

图11是实施例中的图10的悬置式晶圆位准光学组件的第二横剖面视图。

图12是实施例中的图6的间隔件晶圆部分中的凹形间隔件晶圆孔洞的平面视图。

图13是实施例中的图6的间隔件晶圆部分中的似星状凹形间隔件晶圆孔洞的平面视 图。

图14是实施例中的图6的间隔件晶圆部分中的多边凹形间隔件晶圆孔洞的平面视图。

图15是实施例中的图6的间隔件晶圆部分中的非对称凹形间隔件晶圆孔洞的平面视 图。

图16A及16B分别显示实施例中的包含具有深度相依的横剖面的凹形间隔件晶圆孔洞 的间隔件晶圆部分的顶部及底部视图。

图17A及17B分别显示实施例中的图16A及16B中所示的间隔件晶圆部分视图的横 剖面视图。

图18显示实施例中的形成于具有凸形侧壁剖面的凹形间隔件晶圆孔洞内的晶圆位准 光学组件的横剖面视图。

图19显示实施例中的形成于具有凹形侧壁剖面的凹形间隔件晶圆孔洞内的晶圆位准 光学组件的横剖面视图。

图20显示实施例中的形成于具有包含凸形区及凹形区二者的侧壁剖面的凹形间隔件 晶圆孔洞内的晶圆位准光学组件的横剖面视图。

图21显示实施例中的形成于间隔件晶圆中的多个紧密封装的图7的凹形间隔件晶圆孔 洞。

具体实施方式

本发明有关晶圆位准相机、用于晶圆位准相机的间隔件晶圆、及形成于间隔件晶圆孔 洞内的透镜，且更特别地，有关用于在口袋式透镜及悬置式透镜技术的间隔件晶圆孔洞。 图1至5描绘先前技艺的晶圆位准光学组件技术。

图1显示结合至行动电话100的相机模块102内的先前技艺的晶圆位准光学组件110。 诸如晶圆位准光学组件110的晶圆位准光学组件的制造处理包含形成晶圆位准光学组件于 间隔件晶圆中。该先前技艺的间隔件晶圆的一个实例是图2的间隔件晶圆200。先前技艺 的间隔件晶圆200包含间隔件区202及间隔件晶圆孔洞204的数组。形成于间隔件晶圆200 中的各晶圆位准光学组件是形成于不同的间隔件晶圆孔洞204中。

图3是四个代表性的先前技艺的间隔件晶圆孔洞304、306、308、及309。一个或多个 间隔件晶圆孔洞304、306、308、及309可被结合至间隔件晶圆200内，做为一个或多个 孔洞204。间隔件晶圆孔洞304、306、308、及309通过间隔件区302进行分离。间隔件区 302与间隔件区202相似。间隔件晶圆孔洞304是具有直径330的圆形的形状。

在几何学上，若连接形状的周边上的任何两个不同点的线段在由该形状所包围的区域 内时，或在该形状周边本身上时，则该形状是凸形。此界定为与具有凸形形状的成像透镜 所表示的意义一致，但是，间隔件晶圆孔洞的形状(凸形，凹形，等等)并不意指可被形成于 其内的透镜的类型(凸形，凹形，等等)。而是，“凸形间隔件晶圆孔洞”是具有凸形形状的间 隔件晶圆孔洞。因此，先前技艺的间隔件晶圆孔洞304、306、308、及309的个别形状是 凸形。

例如，线段322连接八边形的间隔件晶圆孔洞308的周边318上的两点321及323， 且横过间隔件晶圆孔洞308。线段324连接八边形的间隔件晶圆孔洞308的同一边上的两 点，且因此，完全在间隔件晶圆孔洞308的周边上。所以，八边形的间隔件晶圆孔洞308 为凸形。可被立即了解的是，先前技艺的间隔件晶圆孔洞304、306、及309也是凸形。

图4显示形成于凸形间隔件晶圆孔洞304内的先前技艺在口袋式晶圆位准光学组件410 的横剖面400。母体420在基板450上形成晶圆位准光学组件410。晶圆位准光学组件410 由间隔件晶圆孔洞侧壁332所束缚。如所显示地，晶圆位准光学组件410形成为在口袋式 透镜，其中“口袋”由间隔件晶圆孔洞侧壁332及基板450所组成。在先前技艺的此实例中， 间隔件晶圆孔洞是具有直径330的圆形的间隔件晶圆孔洞304。晶圆位准光学组件410的 透镜溢流440流至空位区441内。

图5显示先前技艺的悬置式晶圆位准光学组件510的横剖面视图500。悬置式晶圆位 准光学组件510可被形成于凸形间隔件晶圆孔洞304内，由间隔件晶圆孔洞侧壁332所束 缚，且由薄膜511所悬置。在横剖面视图500中，上方母体522及下方母体524使晶圆位 准光学组件510在由间隔件晶圆孔洞侧壁332、上方母体522、及下方母体524所界定的束 缚区内浇铸成型。空位区541用作溢流空间，其中薄膜511的部分540可在悬置式晶圆位 准光学组件510的制造期间溢流。

与先前技艺的凸形间隔件晶圆孔洞相较地，在间隔件晶圆中的凹形间隔件晶圆孔洞的 使用具有与晶粒计数及透镜黏着相关联的独特的优点。图6显示包含间隔件区602及间隔 件晶圆孔洞604的数组的间隔件晶圆600，其中至少一间隔件晶圆孔洞是凹形。在图6的 实施例中，间隔件晶圆600的顶部间隔件晶圆表面606及底部间隔件晶圆表面608在与坐 标轴698的x-y平面平行的平面中。图6可能不按比例被绘制。

间隔件晶圆孔洞604以矩形数组配置在间隔件晶圆600上。间隔件晶圆孔洞可被不同 地配置在间隔件晶圆上，而不会背离本文的范畴。例如，间隔件晶圆孔洞可被配置在六边 形的数组或非周期的数组中。

图7是由间隔件晶圆部分700中的间隔件区702所围绕的凹形间隔件晶圆孔洞704的 平面视图。在一个实施例中，凹形间隔件晶圆孔洞704可被结合至图6的间隔件晶圆600 内，作为间隔件晶圆孔洞604中的一个。

凹形间隔件晶圆孔洞704的形状可被视为两个同心形状的结合：圆形及旋转加号(┼)。 圆形具有直径730，其为两个弧形的孔洞侧壁734间的最大距离。加号可视为四个突出物 741。旋转加号的宽度为平行的突出物侧壁732及733的间的宽度731。

对于连接形状的周边上的任何两个不同点的线段而言，若部分或全部的该线段在由该 形状所包围的区域的外面时，则形状为凹形。线段722描绘出间隔件晶圆孔洞704为凹形。 线段722连接凹形间隔件晶圆孔洞704的周边714上的两点721及723，而不横过间隔件 晶圆孔洞704本身。因而，“凹形间隔件晶圆孔洞”是具有凹形形状的间隔件晶圆孔洞。

当与先前技艺相较时，凹形间隔件晶圆孔洞的一个益处是每晶圆的间隔件晶圆孔洞的 数目的增加。图21显示间隔件晶圆2100的间隔件区2102上的多个紧密封装的凹形间隔件 晶圆孔洞704。图21说明的是，凹形间隔件晶圆孔洞704的尺寸及形状允许更大数目的凹 形间隔件晶圆孔洞704将被形成于间隔件晶圆2100上，且因此，当与先前技艺相较时，允 许更高的晶粒计数。在实施例中，间隔件区2102是间隔件晶圆600(图6)的一部分。此益 处在下文扩展至图10上。

图8至12描绘凹形间隔件晶圆孔洞704的突出物741如何置换先前技艺的空位区，作 为溢流区。在先前技艺的晶圆位准光学组件中，该等空位区的实例包含空位区441(图4)， 及541(图5)。

图8显示形成于凹形间隔件晶圆孔洞704内的在口袋式晶圆位准光学组件810的横剖 面视图800。横剖面视图800对应图7的横剖面704A-704A’。

在横剖面视图800中，母体820形成晶圆位准光学组件810至基板850上。在横剖面 视图800中，晶圆位准光学组件810由弧形的孔洞侧壁734所束缚。在实施例中，母体820 及基板850分别与母体420及基板450(图4)相同。在该实施例中，横剖面视图800与先前 技艺的横剖面400(图4)相似，除了空位区441缺席之外。因此，间隔件晶圆孔洞704的直 径730小于图4的对应直径330。为比较的缘故，直径330以图8中的直径730显示。较 小的孔洞允许较大数目的凹形孔洞装在间隔件晶圆600上，且因此，允许比先前技艺间隔 件晶圆200更高的晶粒计数。应了解的是，尺寸、直径、及距离并未按比例显示。

图9显示形成于凹形间隔件晶圆孔洞704内的在口袋式晶圆位准光学组件810的横剖 面视图900。横剖面视图900对应图7的横剖面704B-704B’。在横剖面704B-704B’中， 晶圆位准光学组件810由平行的孔洞侧壁732及733所束缚。虚线表示两个弧形的孔洞侧 壁734。间隔件晶圆孔洞704的突出物741置换空位区441，作为黏着剂溢流区。

图10显示形成于凹形间隔件晶圆孔洞704内，且由薄膜1011所悬置的悬置式晶圆位 准光学组件1010的横剖面视图1000。横剖面视图1000对应图7的横剖面704A-704A’。 在横剖面视图1000中，薄膜1011黏附至弧形的侧壁734。悬置式晶圆位准光学组件1010 为弯月形悬置式透镜。悬置式晶圆位准光学组件1010可为不同的类型，例如，平凸的、双 凸的、平凹的、双凹的，而不会背离本文的范畴。

在实施例中，母体1022及1024分别与图5的母体522及524相似。在该实施例中， 横剖面视图1000与先前技艺的横剖面500(图5)相似，除了空位区541是在图10的实施例 中缺席之外。因此，间隔件晶圆孔洞704的直径730小于图5中的直径330。较小的孔洞 允许较大数目的凹形孔洞装在间隔件晶圆600上，且因此，允许比先前技艺间隔件晶圆200 更高的晶粒计数。

图11显示形成于凹形间隔件晶圆孔洞704内的悬置式晶圆位准光学组件1010的横剖 面视图1100。横剖面视图1100对应图7的横剖面704B-704B’。在横剖面视图1100中， 薄膜1011黏附至平行突出物741的侧壁732及733。虚线表示两个弧形的孔洞侧壁734。 间隔件晶圆孔洞704的突出物741置换空位区541，作为透镜溢流区。

图12至17描绘间隔件晶圆600内的凹形间隔件晶圆孔洞604的额外实施例。

图12是凹形间隔件晶圆孔洞1204及1214的平面视图。凹形间隔件晶圆孔洞1204及 1214中的一个或两个包含在间隔件晶圆600中，作为间隔件晶圆孔洞604的至少一个。

和间隔件晶圆孔洞704一样地，虽然可使用任一凹形形状，但凹形间隔件孔洞1204及 1214的形状可被各自地视为圆形与一个或多个凸多边形的结合，而不会背离本文的范畴。 凹形间隔件晶圆孔洞1204的形状可被视为圆形与等边三角形的结合。凹形间隔件晶圆孔洞 1214的形状可被视为圆形与八个箭头的结合，其中各箭头由两个凸多边形组成：矩形及三 角形。在实施例中，凹形间隔件孔洞的形状可为椭圆形与一个或多个凸多边形的结合。例 如，凹形间隔件孔洞的形状可为椭圆形与三角形的结合。

图13是形成于间隔件晶圆部分1300内的似星状凹形间隔件晶圆孔洞1304的平面视 图。该似星状凹形间隔件晶圆孔洞1304的围绕者是间隔件区1302。

在本实施例中，间隔件晶圆孔洞1304为凹多边形，其可被视为32边的正凸多边形(“32 边形”)与附加至32边形的各边的等腰三角形突出物1321的结合。应了解的是，间隔件晶 圆孔洞1304可以以更多或更少个边形成，而不会背离本文的范畴。在实施例中，似星状凹 形间隔件晶圆孔洞1304包含在间隔件晶圆600中，作为间隔件晶圆孔洞604的至少一个。

图14是形成于间隔件晶圆部分1400内的多边凹形间隔件晶圆孔洞1404的平面视图。 该多边凹形间隔件晶圆孔洞1404的围绕者为间隔件区1402。

在本实施例中，间隔件晶圆孔洞1404为形成为凹多边形，其可被视为两个同心的正多 边形的结合：方形及八边形。间隔件晶圆孔洞1404可被形成为更多或更少个正多边形的结 合，而不会背离本文的范畴。在实施例中，多边凹形间隔件晶圆孔洞1404包含在间隔件晶 圆600中，做为间隔件晶圆孔洞604的至少一个。

图15是形成于间隔件晶圆部分1500内的非对称凹形间隔件晶圆孔洞1504的平面视 图。非对称凹形间隔件晶圆孔洞1504的围绕者为间隔件区1502。凹形间隔件晶圆孔洞1504 为间隔件晶圆孔洞604的至少一个的实施例。

应了解的是，凹形间隔件晶圆孔洞可以以旋转对称、反射对称、或非对称形成。例如， 间隔件晶圆孔洞704、1204、1214、1304、及1404以旋转及反射对称中的一个或二个形成， 以及间隔件晶圆孔洞1504是既不以旋转对称，亦不以反射对称形成。凹形间隔件晶圆孔洞 可以以不同的对称性质形成，而不会背离本文的范畴。

图16A及16B分别显示间隔件晶圆部分1600中的间隔件晶圆孔洞1604的顶部平面视 图及底部平面视图。间隔件晶圆孔洞1604的围绕者为间隔件区1602。在实施例中，间隔 件晶圆孔洞1604包含在间隔件晶圆600中，作为间隔件晶圆孔洞604的至少一个。

间隔件晶圆孔洞1604中的一个或多个横剖面视图(请参阅图17A及17B)可沿着xyz右 侧坐标系统1698的z轴而产生。在图16A中，z轴被指引自页面出来，如“箭头”所示。在 图16B中，z轴被指引进入至页面内，如“箭尾”所示。

在图16A及16B的实施例中，间隔件晶圆孔洞1604以两区域形成：孔洞区1605(1)及 孔洞区1605(2)。在实施例中，孔洞区1605(1)为圆形，而具有直径730，如图16A中所示。 孔洞区1605(2)形成有宽度731，如图16B中所示。

图16A显示晶圆部分的表面1612(1)的顶部平面视图。在此视图中，孔洞1604的孔洞 区1605(1)是可见的。图16B显示晶圆部分的表面1612(3)的底部平面视图。在此视图中， 孔洞区1605(2)是可见的。图16B显示具有突出物1641的中央晶圆部分的表面1612(2)。突 出物1641并未完全延伸穿过间隔件区1602，其可在图17A中被更清楚地看出。图17A显 示沿着图16的横剖面的线1694A-1694A’的横剖面视图。间隔件区1602具有在晶圆部分的 表面1612(1)及1612(3)间的总厚度。孔洞区1605(1)具有厚度1724(1)及直径730。孔洞区 1605(2)具有厚度1724(2)，及在横剖面的线1694A-1694A’中的宽度731。

图17B显示沿着图16的横剖面的线1694B-1694B’的横剖面视图。在图17B的横剖面 视图中，间隔件晶圆孔洞1604显示在间隔件区1602的总厚度1714间具有与直径730相等 的宽度。也就是说，在该横剖面视图中，孔洞区1605(2)的宽度731等于直径730。

在穿过间隔件晶圆的平面中的凹形间隔件晶圆孔洞的周边外切具有较短周边的凸形形 状。例如，凹形间隔件晶圆孔洞1304的周边1305外切圆形1306。在穿过间隔件晶圆部分 1302的平面中，周边1305的长度超过所外切的圆形1306的周长。因此，间隔件晶圆孔洞 1304的孔洞侧壁的表面面积超过具有所外切圆形1306的横剖面形状的凸形间隔件晶圆孔 洞的该者。在此，具有由凹形间隔件晶圆孔洞所外切的凸形形状的形状的间隔件晶圆孔洞 系称作“所外切的凸形孔洞”。

当被使用以制造悬置式透镜时，其一个实例为悬置式晶圆位准光学组件1010(图10)， 凹形间隔件晶圆孔洞的所增加的侧壁表面面积将增加透镜对侧壁的黏着。也就是说，凹形 间隔件晶圆孔洞的侧壁表面面积比所外切的凸形孔洞的该者还要大很多，当与所外切的凸 形孔洞相较时，此将导致更大的透镜对侧壁的黏着，以供凹形间隔件晶圆孔洞之用。

异型剖面的孔洞侧壁

在异型剖面的孔洞侧壁的实施例中，当与先前技艺相较时，悬置式透镜对孔洞侧壁的 黏着通过添加孔洞侧壁的整型剖面而予以增加，其中至少孔洞侧壁的该部分支撑光学组件 的薄膜部分。异型剖面的孔洞侧壁的实例显示于图18至20中，虽然其它的剖面可在不背 离本文的范畴而被使用。

作为比较，图8至9显示间隔件晶圆孔洞704的侧壁732、733、及734成为直立的、 垂直的侧壁，而与邻接的间隔件晶圆表面706及708形成直角。当与先前技艺相较时，虽 然该等凹形间隔件晶圆孔洞增加了与悬置式晶圆位准光学组件接触的侧壁表面面积，但黏 着可被进一步增加。通过整型孔洞侧壁的剖面，将增加悬置式晶圆位准光学组件对孔洞侧 壁的黏着。

图18显示由薄膜1811所悬置且被形成于凹形间隔件晶圆孔洞1804内的晶圆位准光学 组件1010。间隔件区1802可使用于间隔件晶圆中，其一个实例为间隔件晶圆600。间隔件 晶圆表面1812(1)及1812(3)为间隔件区1802的平面表面。

间隔件晶圆孔洞1804具有具备代表性的凸形侧壁剖面1824的孔洞侧壁1830。在一个 实施例中，侧壁剖面1824的弧长度比薄膜厚度1843更长5％。因为侧壁剖面1824的弧长 度超越薄膜厚度1843，所以相较于具有平面侧壁剖面的间隔件晶圆孔洞的侧壁表面面积， 与薄膜1811接触的间隔件晶圆孔洞1804的侧壁表面面积会增加。

其延伸自侧壁段1834的线1841，与由间隔件晶圆表面1812(3)所界定的平面造成斜角 1842。垂直线1844与由间隔件晶圆表面1812(1)及1812(3)所界定的平面垂直，且与薄膜1811 及侧壁剖面1824相交。垂直线1844与间隔件区1802的相交长度1845小于间隔件区1802 的厚度1846。侧壁剖面1824可不背离其范畴而变化。

图19显示由薄膜1911所悬置且被形成于凹形间隔件晶圆孔洞1904内的晶圆位准光学 组件1010。间隔件晶圆孔洞1904由具有代表性的凹形侧壁剖面1924的孔洞侧壁1930界 定。间隔件区1902可被使用于例如，与间隔件晶圆600相似的间隔件晶圆中。

图20显示由薄膜2011所悬置且被形成于凹形间隔件晶圆孔洞2004内的晶圆位准光学 组件1010。间隔件晶圆孔洞2004具有具备代表性的侧壁剖面2024的孔洞侧壁2030。侧壁 剖面2024包含凹形部2025及凸形部2026二者。间隔件区2002可被使用于例如，与间隔 件晶圆600相似的间隔件晶圆中。

诸如间隔件晶圆孔洞1804、1904、及2004的具有整型侧壁的间隔件晶圆孔洞的形状 可为凹形或凸形间隔件晶圆孔洞中的一个或两个。凹形间隔件晶圆孔洞包含，但未受限于 间隔件晶圆孔洞704、1204、1214、1304、1404、及1504。在具有凹形间隔件晶圆孔洞的 任一间隔件晶圆孔洞1804、1904、或2004的实施例中，与悬置式透镜接触的间隔件晶圆 孔洞侧壁的表面面积在两平面中增加。例如，如有关凹形间隔件晶圆孔洞1304所讨论地， 32个三角型突出物1321在间隔件区1302的平面中增加间隔件侧壁面积。如有关凹形间隔 件晶圆孔洞1904所讨论地，侧壁剖面1924在与间隔件区1902垂直的平面中增加间隔件侧 壁面积。

在此所揭示的凹形及整型侧壁剖面间隔件晶圆孔洞并未意指以任一方式限制，而是仅 被设置作为提供溢流区的一些可能的凹形间隔件晶圆孔洞及整型侧壁剖面间隔件晶圆孔洞 的实例，当与先前技艺的凸形孔洞相较时，该溢流区可同时增加晶圆位准光学组件与孔洞 侧壁的黏着，并提供可增加每晶圆的间隔件晶圆孔洞数目的凹形形状。应了解的是，凹形 及整型侧壁剖面间隔件晶圆孔洞可以以宽广种类的凹形孔洞形状、整型侧壁剖面形状、或 凹形孔洞形状及整型侧壁剖面形状二者，加以形成，而不会背离本文的范畴。

特性组合

上文所叙述的特性及下文所主张专利的该等者可以以种种方式结合，而不会背离本文 的范畴。例如，应理解的是，在此所叙述的间隔件晶圆的观点可结合或交换在此所叙述的 另一间隔件晶圆的特性。而且，应理解的是，在此所叙述的晶圆位准光学组件的观点可结 合或交换在此所叙述的另一晶圆位准光学组件的特性。以下实例描绘上述实施例的可能的、 非限制的组合。应呈明显的是，许多其它的改变及修正可对在此的方法及装置做成，而不 会背离此发明的精神及范畴：

(A1)一种晶圆位准光学组件，其包含：(1)间隔件晶圆，形成有多个孔洞，该多个孔洞 的各者具有在该间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，且包含与该平面横剖面相交的溢 流区；以及(2)多个光学组件，该多个光学组件中的每个由硬化的可流动材料形成于该多个 孔洞中个别的一个内；其中形成该等光学组件中的每个的该硬化的可流动材料的一部分扩 展进入至其个别孔洞的溢流区内。

(A2)在如(A1)所示的晶圆位准光学组件中，该凹形形状为多边形。

(A3)在如(A1)或(A2)所示饿晶圆位准光学组件中，该凹形形状为多个几何形状的结合。

(A4)在如(A3)所示的晶圆位准光学组件中，该多个几何形状的其中一个为凸多边形或 圆形。

(A5)在如(A1)至(A4)所示的晶圆位准光学组件的任一者中，凹形形状具有反射对称及 旋转对称中的一个或二个。

(A6)在如(A1)至(A5)所示的晶圆位准光学组件的任一者中，光学组件的数组的各光学 组件形成有薄膜，该薄膜在其个别的孔洞内包围且悬置其个别的光学组件。

(A7)在如(A1)至(A6)所示的晶圆位准光学组件的任一者中，对于该多个孔洞中的每个 而言，与该孔洞的侧壁剖面正切的线与该间隔件晶圆的平面表面形成斜角。

(A8)在如(A1)至(A7)所示的晶圆位准光学组件的任一者中，垂直于由两个平行的间隔 件晶圆表面中的一个所界定的平面的线与薄膜及该间隔件晶圆相交。

(B1)一种间隔件晶圆，其包含至少一个凹形孔洞，形成有在该间隔件晶圆的平面横剖 面中的凹形形状，且包含与该平面横剖面相交的溢流区。

(B2)在如(B1)所示的间隔件晶圆中，该凹形形状为多边形。

(B3)在如(B1)或(B2)所示的间隔件晶圆中，该凹形形状为多个几何形状的结合。

(B4)在由(B3)所示的间隔件晶圆中，该多个几何形状的其中一个选自由凸多边形、圆 形、及椭圆形所组成的组群。

(B5)在由(B1)至(B4)所示的间隔件晶圆的任一者中，该凹形形状为以反射对称及旋转 对称中的一个或两个形成。

(B6)在由(B1)至(B5)所示的间隔件晶圆的任一者中，与该凹形孔洞的剖面侧壁上的点 正切的线相对于该间隔件晶圆的平面表面成为斜角。

(B7)在由(B1)至(B6)所示的间隔件晶圆的任一者中，两个平行的间隔件晶圆表面中的 一个界定平面，且垂直于该平面的线在一段距离内与该间隔件晶圆相交，该距离比该间隔 件晶圆的厚度更短。

(B8)在由(B1)至(B7)所示的间隔件晶圆的任一者中，该凹形孔洞至少部分地由被形成 为异型剖面的孔洞侧壁的间隔件晶圆孔洞侧壁所界定。

(B9)在由(B1)至(B8)所示的间隔件晶圆的任一者中，该异型剖面的孔洞侧壁至少在用 于支撑薄膜的该异型剖面的孔洞侧壁的部分处以整型剖面形成，该薄膜悬置光学组件。

(B10)在由(B1)至(B9)所示的间隔件晶圆的任一者中，该异型剖面的孔洞侧壁以凹形剖 面形成。

(B11)在由(B1)至(B10)所示的间隔件晶圆的任一者中，该异型剖面的孔洞侧壁以凸形 剖面形成。

(B12)在由(B1)至(B11)所示的间隔件晶圆的任一者中，该异型剖面孔洞侧壁以凹形剖 面及凸形剖面的组合形成。