金刚石硅片专用碱洗液及金刚石硅片清洗工艺

摘要

本发明公开了一种金刚石硅片专用碱洗液及金刚石硅片清洗工艺，属于金刚石硅片生产技术领域，金刚石硅片专用碱洗液为双氧水和氢氧化钾的混合溶液，金刚石硅片清洗工艺包括超声清洗、药液清洗、超声漂洗和碱洗，碱洗在超声漂洗之前进行。本发明能够对硅片表面氧化层进行深度的清洁，清洗效果良好，能够有效提高清洗后金刚石硅片的转换率，极具推广价值。