磨料质量分数对磨硅片用金刚石砂轮磨削性能的影响

摘要

采用改进的凝胶注模技术制备多孔陶瓷结合剂超细金刚石砂轮,研究6种不同质量分数磨料(质量分数分别为27％、30％、33％、36％、39％、42％)的多孔金刚石砂轮的显微结构和磨削性能.结果表明:磨料的质量分数直接影响砂轮磨削时的磨削电流、砂轮磨损速率,进而影响硅片磨削后的表面一致性.使用磨料质量分数为39％的砂轮时,硅片磨削后可获得粗糙度为4.8 nm的光滑表面.