1200#树脂金刚石砂轮背磨IC硅片的表面质量研究

摘要

本文研究了国产和进口1200#树脂金刚石砂轮特性对背磨硅片表面磨削质量的影响，包括硅片亚表面损伤深度和粗糙度的检测方法，不同砂轮磨削后IC硅片亚表面损伤深度和表面粗糙度Ra值的检测数据，分析了砂轮磨削功率(电流值)与硅片亚表面损伤深度的对应关系等，结果表明：国产1200号树脂金刚石砂轮性能满足工艺要求，其亚表面损伤深度为O．79μm，表面粗糙度值Ra为9．76nm；进口砂轮亚表面损伤深度为1．55μm，表面粗糙度值Ra为11．811mm。