摘要
符号说明
第一章绪论
1．1研究背景及意义
1．2硅片精密磨削用砂轮的现状
1．2．1硅片精密磨削用砂轮的性能研究
1．2．2硅片精密磨削用砂轮的制备研究
1．2．3硅片精密磨削用砂轮的磨损与观测评价研究
1．2．4硅片精密磨削用砂轮表面形貌建模研究
1．3课题来源及研究内容
1．3．1课题来源
1．3．2主要研究内容
1．4本章小结
2．1概述
2．2研究用到的相关理论与方法
2．2．1接触力学
2．2．2有限元法
2．2．3正态分布
2．3实验系统装置
2．3．1单颗磨粒划痕实验系统
2．3．2杯型金刚石砂轮磨削力实验系统
2．3．3硅片自旋转磨削实验系统
2．4实验材料与观测方法及仪器
2．4．1实验材料
2．4．2观测方法及仪器
2．5本章小结
第三章砂轮与硅片的微观接触状态力学分析
3．1概述
3．2砂轮与硅片微观接触力学模型
3．2．1硅片自旋转磨削
3．2．2砂轮微单元的提取
3．2．3砂轮与硅片微观接触力学模型的建立
3．3砂轮与硅片微观接触状态法向力学分析
3．3．1砂轮微单元与硅片法向弹性接触分析
3．3．2砂轮微单元与硅片法向塑性接触分析
3．4砂轮与硅片的微观接触状态切向力学分析
3．4．1砂轮微单元与硅片切向弹性接触分析
3．4．2砂轮微单元与硅片切向塑性接触分析
3．5本章小结
第四章砂轮与硅片的微观接触状态仿真分析
4．1概述
4．2砂轮微单元与硅片微观接触仿真模型
4．2．1砂轮微单元结合剂有限元模型
4．2．2砂轮微单元磨粒有限元模型
4．2．3工件硅片有限元模型
4．2．4模型单元网格及约束加载
4．3砂轮与硅片的微观接触法向压入仿真分析
4．3．1硅片的法向压入仿真分析
4．3．2砂轮微单元的法向压入仿真分析
4．4砂轮与硅片的微观接触切向滑动仿真分析
4．4．1硅片的切向滑动仿真分析
4．4．2砂轮微单元的切向滑动仿真分析
4．5．1不同载荷下的硅片划痕沟槽形貌
4．5．2不同载荷下的硅片划痕沟槽深度
4．6本章小结
5．1概述
5．2砂轮表面形貌建模
5．2．1宏观砂轮的定义
5．2．2砂轮磨粒的定义
5．2．3磨粒随机分布的生成
5．2．4磨粒移动次数的确定
5．2．5砂轮表面形貌的生成与结合剂表面定义
5．3验证砂轮表面形貌模型
5．3．1对比分析磨粒密度
5．3．2对比分析磨粒出刃高度
5．4砂轮宏观磨损分析
5．4．1砂轮的有效磨粒数
5．4．2综合磨损分析
5．5本章小结
第六章硅片磨削过程砂轮磨损规律研究
6．1概述
6．2金刚石砂轮磨削力实验研究
6．2．1瞬时磨削力的变化过程
6．2．2磨削参数对磨削力的影响
6．2．3磨削力与硅片表面质量
6．2．4磨削力与砂轮磨损
6．3硅片自旋转磨削实验研究
6．3．1自旋转磨削时硅片表面的形成
6．3．2自旋转磨削参数对硅片表面的影响
6．3．3硅片自旋转磨削去除机理
6．3．4自旋转磨削砂轮磨损情况分析
6．4本章小结
结论与展望
参考文献
攻读学位期间发表的论文及参与项目情况
声明
致谢
