氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响

摘要

在单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮中分别添加不同体积分数的固体润滑剂氟化钙(CaF2),评估其对砂轮表面结构、砂轮磨损量、磨床主轴电流的影响,并测量和计算单晶硅片的表面粗糙度和表面损伤层厚度.结果显示:随CaF2用量增加,磨床主轴电流、砂轮磨损量、单晶硅片的表面粗糙度值和表面损伤层厚度均下降;当CaF2体积分数为25％时,主轴电流降至约6.4 A,砂轮磨损量降到每片0.4486μm,单晶硅片的表面粗糙度R a、R y和R z分别为0.056μm、0.382μm和0.396μm,表面损伤层厚0.5596μm.加入CaF2固体润滑剂可有效改善树脂金刚石砂轮的性能,提高单晶硅片表面的加工质量,且CaF2体积分数为25％时效果最佳.