一种光栅微环互调结构的光波导生化传感器

摘要

本发明公开了一种光栅微环互调结构的光波导生化传感器，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体，所述SOI基体的单晶硅层包含第一直波导、第二直波导、外环形谐振腔和内环形光栅谐振腔。本发明的光波导生化传感器由于内环形光栅谐振腔对外环形谐振腔的调制作用，可以使外环形谐振腔中某些谐振峰得到抑制，从而增大了自由光谱范围，同时由于内环形光栅谐振腔能够将光极大的限制在光栅区域，从而有效增强了光和物质之间的相互作用，另外内环形光栅谐振腔能够使光在谐振腔中来回震荡，增加光与物质相互作用的强度和有效长度，使检测灵敏度更高。