公开/公告号CN104748658A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201310751453.3
申请日2013-12-31
分类号G01B7/02(20060101);G01B7/00(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人丁纪铁
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2023-12-18 09:48:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-08
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B7/02 申请公布日:20150701 申请日:20131231
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-07-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B7/02 申请日:20131231
实质审查的生效
2015-07-01
公开
公开
机译: 针单元尖端长度可调的探针卡
机译: 用于测量探针卡针高的非接触式仪器
机译: 自动聚焦和自动清洁探针卡针的方法