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探针卡自动清针方法及其系统

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摘要

一种探针卡自动清针方法，其步骤包括：按压清洁模块，至少一探针卡的探针按压一清洁模块，以去除该探针的沾黏物；以及负压吸附沾黏物，提供一负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物。

1. 一种探针卡清针方法及清针系统 [P] . 中国专利： CN104931543A . 2015-09-23
2. 一种WAT机台探针卡清针方法 [P] . 中国专利： CN107561319A . 2018-01-09
3. Unified apparatus and method to assure probe card-to-wafer parallelism in semiconductor automatic wafer test, probe card measurement systems, and probe card manufacturing [P] . 美国专利： US6794889B2 . 2004-09-21

机译：确保半导体自动晶圆测试，探针卡测量系统和探针卡制造中探针卡与晶圆平行度的统一装置和方法
4. Unified apparatus and method to assure probe card-to-wafer parallelism in semiconductor automatic wafer test, probe card measurement systems, and probe card manufacturing [P] . 美国专利： US2003201764A1 . 2003-10-30

机译：确保半导体自动晶圆测试，探针卡测量系统和探针卡制造中探针卡与晶圆平行度的统一装置和方法
5. Method of auto focusing and auto cleaning Needles of a Probe Card [P] . 韩国专利： KR101877432B1 . 2018-07-11

机译：自动聚焦和自动清洁探针卡针的方法