光伏器件的金属触头形成和窗口蚀刻停止

摘要

本发明的实施方案通常涉及光伏器件，且更具体地，涉及布置在光伏器件上的金属触头以及用于形成这样的金属触头的制造工艺。在一个方面，用于在光伏器件上的触头图案化的方法包括提供包括前接触层和在所述前接触层下面的窗口层的半导体结构，其中所述窗口层还充当蚀刻停止层。至少一个金属层沉积在所述前接触层上，且抗蚀剂涂敷在所述至少一个金属层的部分上。所述至少一个金属层和所述前接触层被蚀穿以实现期望的金属化。