微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具

摘要

本发明公开了一种微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，包括一段90°的弯波导，弯波导的一端为微波反射计连接端，另一端为开口端，开口端设有被测材料的测试参考面，测试参考面设有抗流槽；弯波导拐弯处的壁上设有小孔，小孔装有激光发射器，激光发射器的发射方向指向弯波导的开口端。可以通过测量半导体材料表面电导率激光照射前后微波阻抗的变化，测得材料的少数载流子寿命，结构简单、使用方便。