大规模集成互连电迁移失效测试方法

摘要

本发明公开了一种大规模集成互连电迁移失效快速自动测试方法，主要解决现有技术的测试成本高、测试规模小的问题。其实现方案是：利用反熔丝在编程前后电阻发生巨大变化这一特性，在集成互连线的焊盘上通过平面集成工艺制作反熔丝，形成互连和反熔丝并联的结构，将大量的该互连-反熔丝单元结构串联起来即形成大规模集成互连多链接结构，在该多链接结构两端分别连接测试电流源和电压表进行电迁移失效测试，并记录多链接结构两端的电压下降跳变点时间，作为互连的失效时间。本发明具有测试成本低、测试效率高的优点，可用于大规模集成互连电迁移失效的测试。