法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-27
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01M11/00 申请公布日:20121128 申请日:20100129
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/00 申请日:20100129
实质审查的生效
2012-11-28
公开
公开
机译: 灰色色调面罩的缺陷检查方法和缺陷检查装置以及光电面罩的缺陷检查方法和缺陷检查装置
机译: 灰色色调掩模的缺陷检查方法,缺陷检查装置以及照片掩模的缺陷检查方法和装置
机译: 灰阶掩模的缺陷检查设备和缺陷检查方法,以及光掩模的缺陷检查设备和缺陷检查方法