显示面板Array制程缺陷自动光学检测方法研究

目录

第1章 绪 论

1.1 课题研究的背景和意义

1.2 国内外的研究现状及分析

1.2.1 差影法

1.2.2 统计法

1.2.3 频谱法

1.3 研究现状总结

1.4 主要研究内容

第2章 微缺陷扫描图像采集系统设计及图像预处理

2.1 引言

2.2 大尺寸平板部件自动光学检测系统设计

2.2.1 系统总体结构

2.2.2 相机及镜头参数设计和选型

2.3 光照不均匀图像校正算法研究

2.3.1 基于多项式曲线拟合的两次光照不均校正算法

2.3.2 基于多尺度高斯函数的光照不均匀图像校正算法

2.3.3 光照不均校正结果对比评价

2.4 本章小结

第3章 基于灰阶比对的缺陷检测算法

3.1 引言

3.2 邻域5点排序比对法

3.2 周期性自差影缺陷提取算法

3.2.1 周期性自差影缺陷提取算法原理

3.2.2 边缘非整周期图像缺陷检测

3.2.3 缺陷检测算法仿真

3.2.4 缺陷等级评价排序

3.3 本章小结

第4章 周期性自差影缺陷检测算法优化

4.1 引言

4.2 单像素误差分析

4.3 周期长度自动确定算法

4.3.1 基于一维距离匹配函数的一维周期确定

4.3.2 基于累积距离匹配函数的二维图像周期确定

4.4 低灰度对比度缺陷检测中的图像增强算法研究

4.4.1 灰度线性变换增强

4.4.2 非线性灰度变换增强

4.5 本章小结

结论

参考文献

声明

致谢