边缘基座的侧垫设计

摘要

本发明描述了一种方法及设备，用于促进研磨垫的研磨表面的均衡调节。此设备包括延伸装置，此延伸装置耦接至邻近研磨垫的外周边缘的基部，且所述研磨垫调适成支撑调节装置；此延伸装置包括主体，此主体可相对于所述研磨垫移动，及耗蚀性衬垫，此耗蚀性衬垫包含耦接至上述主体的安装表面的研磨材料。