公开/公告号CN102427027A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201110206424.X
申请日2011-07-22
分类号H01L21/28;
代理机构上海新天专利代理有限公司;
代理人王敏杰
地址 201202 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2023-12-18 04:59:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-11
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/28 申请公布日:20120425 申请日:20110722
发明专利申请公布后的驳回
2012-06-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/28 申请日:20110722
实质审查的生效
2012-04-25
公开
公开
机译: 改善半导体器件中镍硅化物触头形成的方法
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