用于外延剥离的多个堆栈沉积

摘要

本发明的实施例提供一种含有布置于衬底上的多个磊晶堆栈的薄膜堆栈，及一种用于形成此薄膜堆栈的方法。在一实施例中，该外延堆栈含有布置于该衬底上的第一牺牲层、布置于该第一牺牲层上的第一外延膜、布置于该第一外延膜上的第二牺牲层，及布置于该第二牺牲层上的第二外延膜。该薄膜堆栈可进一步含有布置于牺牲层上的额外的外延膜。通常，所述外延膜含有砷化镓合金，且所述牺牲层含有砷化铝合金。方法提供通过在外延剥离(ELO)过程期间蚀刻掉所述牺牲层而自该衬底移除所述外延膜。所述外延膜可用作光伏电池、激光二极管，或其它器件或材料。