一种纳米微粒浮栅透射电子显微镜观测样品制备方法

摘要

本发明提供一种纳米微粒浮栅透射电子显微镜观测样品制备方法，包括以下步骤：提供一纳米微粒浮栅样品，所述样品包括衬底、位于所述衬底上的非晶态膜层、位于所述非晶态膜层之上的纳米微粒浮栅层；通过机械研磨去除所述衬底的大部分，保留一薄层的衬底；使用离子束对保留的衬底进行进一步的减薄，使所述纳米微粒浮栅样品上部分区域的保留衬底被完全去除；通过透射电子显微镜对所述保留衬底被完全去除的区域进行观测。本发明方法有效实现了制备从顶面完整观测纳米微粒浮栅层的TEM观测样品。