液晶阵列检查装置系统的抽真空方法、液晶阵列检查装置系统、以及液晶阵列检查装置

摘要

一种液晶阵列检查装置系统的抽真空方法，当多个液晶阵列检查装置同时达到检查状态时，对该液晶阵列检查装置所检查的液晶基板的类型的检查时间、与同时达到检查状态的液晶阵列检查装置所检查的液晶基板的类型的检查时间进行比较，另外，比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间，当抽真空时间为差分时间以下时，优先地对检查时间短的液晶阵列检查装置所具有的装载互锁室进行抽真空，借此，可使检查时间短的液晶基板的类型的检查超越检查时间长的液晶基板的类型的检查而先进行，且不会受到检查时间长的液晶基板的类型的检查的影响。

说明书

技术领域

本发明涉及一种与液晶基板的阵列检查相关的在真空状态进行液晶阵列检查的检查装置以及检查方法。

背景技术

作为液晶阵列检查装置，如下的装置已为人所知，该装置包括：检查室与将液晶基板导入至该检查室或从该检查室导出的装载互锁室，在真空状态的检查室内，对液晶基板的阵列进行检查。在所述检查室中，例如，将检查信号施加于作为检查对象的液晶基板的阵列，使电子束或离子束(ion beam)等的带电粒子束在基板上二维地扫描，基于光束扫描所获得的扫描画像来进行基板检查。使用在薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)显示器(display)装置中的TFT阵列基板的制造步骤中，对所制造的TFT阵列基板是否正确地驱动进行检查，但在该TFT阵列基板检查过程中，例如使用电子束作为带电粒子束，借由对TFT阵列基板进行扫描来取得扫描画像，基于该扫描画像来进行检查(专利文献1、专利文献2)。

液晶阵列检查装置包括检查室与装载互锁室，经由该装载互锁室来将未检查的液晶基板从大气侧导入至检查室内，另外，将已检查的液晶基板从检查室内导出至大气侧。所述装载互锁室一方面与大气侧之间进行液晶基板的导出与导入，另一方面，与检查室之间进行液晶基板的导出与导入。为了在保持着检查室内的真空状态的状态下，与大气侧之间将液晶基板予以导出或导入，在检查室与装载互锁室之间，以及在装载互锁室与大气侧之间设置有闸门(gate)。

在将两个闸门予以关闭的状态下，利用真空泵来对装载互锁室进行排气，借此来对装载互锁室内进行抽真空。在对于所述装载互锁室的抽真空过程中，达到比检查室所要求的真空度更低的真空度即可，因此，通常使用被称为粗抽用泵的真空度比较低的真空泵。

专利文献1：日本专利特开2004-271516号公报

专利文献2：日本专利特开2004-309488号公报

作为在如上所述的液晶阵列检查过程中使检查效率提高的一个构成，可考虑使用多个液晶阵列检查装置的构成。

图11表示包括2台液晶阵列检查装置的构成例。在图11中，虽表示包括2台液晶阵列检查装置的构成，但不限于2台，也可设为3台以上的构成。

各液晶阵列检查装置12A、12B分别包括装载互锁室15A、15B。作为对各装载互锁室15A、15B进行抽真空的构成，可考虑如下的构成，即，将装载互锁粗抽用真空泵17分别连接于装载互锁室15A、15B，个别地对各装载互锁室15A、15B进行抽真空。所述构成存在如下的问题：需要台数与液晶阵列检查装置相同的装载互锁粗抽用真空泵，从而会导致成本(cost)或空间(space)增加。

作为消除所述问题的构成，已提出有使各液晶阵列检查装置12A、12B共用装载互锁室粗抽用真空泵17的构成。图11表示共用所述装载互锁室粗抽用真空泵17的构成，利用连接切换装置16来对连接状态进行切换，借此来对装载互锁室15A、15B中的任一个装载互锁室进行抽真空。

在如上所述的由2台液晶阵列检查装置共用一台装载互锁粗抽用真空泵的构成中，将装载互锁粗抽用真空泵17连接于在时间上先要求执行抽真空的装载互锁室，接着进行抽真空。

如此，在由先开始抽真空的装载互锁室占用着装载互锁室粗抽用真空泵的构成中，2台液晶阵列检查装置内，较迟开始抽真空的装载互锁室处于待机状态，直至先开始的装载互锁室的抽真空结束为止，在先开始的装载互锁室的抽真空结束之后进行抽真空。

如上所述，当对装载互锁室进行抽真空时产生待机状态，在借由两个液晶阵列检查装置来对同一类型的液晶基板进行检查时的检查时间相同的情况下，不会产生问题。另一方面，在两个液晶阵列检查装置的检查时间不同的情况下，检查时间短的类型的液晶基板的检查会受到检查时间长的类型的液晶基板的检查的影响，因此，在先开始对检查时间长的类型的液晶基板进行检查的情况下，尽管检查时间短，但对于检查时间短的类型的液晶基板的检查必须待机，直至检查时间长的类型的液晶基板的检查结束为止。因此，存在如下的问题：最终，两个液晶阵列检查装置所耗费的整体的检查时间变长。

图12(a)～图12(c)是用以说明对检查时间短的类型与检查时间长的类型的液晶基板进行检查时的检查时间的关系的图。该检查时间的关系根据两个检查时间(T1、T2)的差分与抽真空所需的抽真空时间Tv的关系而分为三种情况。图12(a)～图12(c)表示抽真空时间Tv与两个检查时间(T1、T2)的差分|T1-T2|的关系分别为Tv＝|T1-T2|的情况、Tv＞|T1-T2|的情况、以及Tv＜|T1-T2|的情况。再者，此处表示检查时间T1较检查时间T2更长的情况，另外，表示了检查时间为T1的液晶阵列检查装置比检查时间为T2的液晶阵列检查装置先开始抽真空的情况。

在Tv＝|T1-T2|的情况下，如图12(a)所示，检查时间T1与检查时间T2同时结束，在其中一个液晶阵列检查装置以抽真空时间Tv的时间间隔来进行抽真空期间，另一个液晶阵列检查装置在等待时间Tw(＝Tv)的时间范围内处于待机状态。因此，检查时间T2的液晶阵列检查装置尽管检查时间短，但无法超越检查时间T1长的类型的液晶阵列检查装置因而不能先进行检查。

另外，在Tv＞|T1-T2|的情况下，如图12(b)所示，在检查时间T1结束之后，检查时间T2结束，在先结束的其中一个液晶阵列检查装置以抽真空时间Tv的时间间隔来进行抽真空期间，另一个液晶阵列检查装置在等待时间Tw(＜Tv)的时间范围内处于待机状态。因此，检查时间T2的液晶阵列检查装置尽管检查时间短，但无法超越检查时间T1长的类型的液晶阵列检查装置因而不能先进行检查。

另一方面，在Tv＜|T1-T2|的情况下，如图12(c)所示，在检查时间T1结束之前，检查时间T2结束，可在抽真空时间Tv的时间范围内进行抽真空之后，前进至下一次的检查，因此，检查时间T2短的类型的液晶阵列检查装置可超越检查时间T1长的类型的液晶阵列检查装置而先进行检查。

如上所述，对于两个检查时间(T1、T2)的差分|T1-T2|与抽真空时间Tv的关系而言，在处于Tv≥|T1-T2|的关系的情况下，会产生如下的问题，即，检查时间T2短的类型的液晶阵列检查装置的检查周期(cycle)无法超越检查时间T1长的类型的液晶阵列检查装置的检查周期因而不能先进行检查。

发明内容

因此，本发明的目的在于解决所述以往的问题点，当利用较少的装载互锁粗抽用真空泵来对多个液晶阵列检查装置进行抽真空时，使检查时间短的液晶基板的类型的检查不会受到检查时间长的液晶基板的类型的检查的影响，且检查时间短的液晶阵列检查装置的检查周期可超越检查时间长的液晶阵列检查装置的检查周期。

对于本发明而言，当多个液晶阵列检查装置同时达到检查状态时，对该液晶阵列检查装置所检查的液晶基板的类型的检查时间、与同时达到检查状态的液晶阵列检查装置所检查的液晶基板的类型的检查时间进行比较，另外，比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间，当抽真空时间为差分时间以下时，优先地对检查时间短的液晶阵列检查装置所具有的装载互锁室进行抽真空，借此，可使检查时间短的液晶基板的类型的检查超越检查时间长的液晶基板的类型的检查而先进行，且不会受到检查时间长的液晶基板的类型的检查的影响。

同时进行所述抽真空的竞争状态的有无、对于竞争的液晶阵列检查装置的检查时间的比较、以对于抽真空时间与竞争的液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间的比较是进行优先判定的判定条件，优先地对由该优先判定所选择的液晶阵列检查装置所具有的装载互锁室进行抽真空，并使竞争地进行抽真空的其他液晶阵列检查装置所具有的装载互锁室的抽真空处于等待状态。

本发明在包含所述构成的形态中，可形成液晶阵列检查装置系统的抽真空方法、液晶阵列检查装置系统、以及液晶阵列检查装置的多个形态。

液晶阵列检查装置是对液晶基板的阵列进行检查的单个检查装置。液晶阵列检查装置系统是包括多个液晶阵列检查装置与一台或多台装载互锁粗抽用真空泵的系统的构成，可同时利用多台液晶阵列检查装置来进行检查。液晶阵列检查装置系统设为如下的构成，即，所述装载互锁粗抽用真空泵的台数较液晶阵列检查装置的台数更少，各装载互锁粗抽用真空泵连接于任一个液晶阵列检查装置的装载互锁室而进行抽真空。

本发明是在利用所述装载互锁粗抽用真空泵来对装载互锁室进行抽真空时，使装载互锁粗抽用真空泵的台数较液晶阵列检查装置的台数更少，借此来抑制由装载互锁粗抽用真空泵引起的成本以及空间的增大。

另外，当满足所述的同时进行抽真空的竞争状态的有无、对于竞争的液晶阵列检查装置的检查时间的比较、以及对于抽真空时间与竞争的液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间的比较等的进行优先判定的判定条件时，优先地对该液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，借此，可使检查时间短的液晶阵列检查装置的检查周期超越检查时间长的液晶阵列检查装置的检查周期，从而使液晶阵列检查装置的整体的检查时间缩短。

对于本发明的液晶阵列检查装置系统的抽真空方法的形态而言，该液晶阵列检查装置系统包括：多台液晶阵列检查装置，分别具有在真空状态下对液晶基板进行检查的检查室、与将液晶基板导入至所述检查室或从所述检查室中导出的装载互锁室；以及粗抽用真空泵，以粗真空度来对各装载互锁室进行抽真空，且台数较液晶阵列检查装置的台数更少，当由多个液晶阵列检查装置竞争地利用粗抽用真空泵来进行抽真空时，各液晶阵列检查装置对该液晶阵列检查装置的检查时间、与竞争的液晶阵列检查装置的检查时间进行比较，并比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与竞争的两个液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间，当抽真空时间为差分时间以下时，将粗抽用真空泵连接于检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室，优先地对检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，并等待对竞争的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空。

液晶阵列检查装置系统包括连接切换装置，该连接切换装置对装载互锁室与粗抽用真空泵之间的连接关系进行切换，将各粗抽用真空泵自如地切换至装载互锁室中的任一个装载互锁室，在该构成中，对于抽真空方法的形态而言，当由多个液晶阵列检查装置竞争地利用粗抽用真空泵来进行抽真空时，各液晶阵列检查装置对该液晶阵列检查装置的检查时间、与竞争的液晶阵列检查装置的检查时间进行比较，并比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与竞争的两个液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间，当抽真空时间为差分时间以下时，对连接切换装置的切换进行控制，将粗抽用真空泵连接于检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室，优先地对检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，并等待对竞争的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空。

另外，对于本发明的抽真空方法的形态而言，当竞争的液晶阵列检查装置内，未优先的液晶阵列检查装置正在进行抽真空动作时，使该液晶阵列检查装置的抽真空动作中断，在优先的液晶阵列检查装置的抽真空结束之后，使已中断的液晶阵列检查装置的抽真空动作重新开始。

接着，本发明的液晶阵列检查装置系统的形态包括：多台液晶阵列检查装置，分别具有在真空状态下对液晶基板进行检查的检查室、与将液晶基板导入至检查室内或将液晶基板从该检查室内导出的装载互锁室；粗抽用真空泵，以粗真空度来对各装载互锁室进行抽真空，且台数较液晶阵列检查装置的台数更少；以及连接切换装置，对装载互锁室与粗抽用真空泵之间的连接关系进行切换，将各粗抽用真空泵自如地切换至装载互锁室中的任一个装载互锁室。

对于构成液晶阵列检查装置系统的各液晶阵列检查装置而言，当竞争地利用粗抽用真空泵来对装载互锁室进行抽真空时，对竞争的液晶阵列检查装置的检查时间进行比较，并比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与竞争的两个液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间，当抽真空时间为差分时间以下时，对该连接切换装置的切换进行控制，将粗抽用真空泵连接于检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室，优先地对检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，并等待对竞争的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空。

在所述液晶阵列检查装置系统中，各液晶阵列检查装置经由网络而连接，且经由网络而取得竞争的液晶阵列检查装置的检查时间、以及抽真空的驱动信息。借此，可在借由网络而处于彼此连接的关系的液晶阵列检查装置之间，共用使用于优先判定的各液晶阵列检查装置的检查时间、或表示正在对各液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空动作或将要进行该抽真空动作等的驱动信息，并可在进行优先判定时，将所述检查时间或驱动信息予以读入。

各液晶阵列检查装置对取得的检查时间与所述液晶阵列检查装置的检查时间进行比较，基于取得的抽真空的驱动信息来对竞争状态进行判定，从而进行优先判定。

本发明的液晶阵列检查装置包括在真空状态下对液晶基板进行检查的检查室、与将液晶基板导入至检查室内或将液晶基板从该检查室内导出的装载互锁室，装载互锁室自如地切换至粗抽用真空泵与其他液晶阵列检查装置的装载互锁室中的任一个装载互锁室，所述粗抽用真空泵以粗真空度来对所述装载互锁室进行抽真空，且台数较液晶阵列检查装置的台数更少，当竞争地利用粗抽用真空泵来对装载互锁室进行抽真空时，对竞争的液晶阵列检查装置的检查时间进行比较，并比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与竞争的两个液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间，当抽真空时间为差分时间以下时，将粗抽用真空泵连接于检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室，优先地对检查时间最短的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，并等待对竞争的液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空。

[发明的效果]

根据本发明，当利用一台装载互锁粗抽用真空泵来对多个液晶阵列检查装置进行抽真空时，检查时间短的液晶基板的类型的检查不会受到检查时间长的液晶基板的类型的检查的影响，检查时间短的液晶阵列检查装置的检查周期可超越检查时间长的液晶阵列检查装置的检查周期。

附图说明

图1是用以对本发明的液晶阵列检查装置的构成例进行说明的概略方块图。

图2是用以对本发明的液晶阵列检查装置的其他构成例进行说明的概略方块图。

图3(a)～图3(c)是用以说明优先地对本发明的装载互锁室进行抽真空的优先动作的图。

图4(a)、图4(b)是用以对本发明的优先动作的作用效果进行说明的图。

图5(a)、图5(b)是用以对Tv＜|T1-T2|的情况的优先动作进行说明的图。

图6是用以对本发明的液晶阵列检查装置的动作进行说明的流程图。

图7是用以对本发明的液晶阵列检查装置的动作进行说明的流程图。

图8(a)～图8(d)是对各液晶阵列检查装置所具有的工作时间信息以及状况信息进行说明的图。

图9是用以说明在经由网络来连接的液晶阵列检查装置之间进行的优先判定的流程图。

图10是表示本发明的液晶阵列检查装置的一个构成例的方块图。

图11是表示包括2台液晶阵列检查装置的构成例的图。

图12(a)～图12(c)是用以说明对检查时间短的类型与检查时间长的类型的液晶基板进行检查时的检查时间的关系的图。

[符号的说明]

1：液晶阵列检查装置系统

2、2A、2B、2N、12A、12B：液晶阵列检查装置

3、3A、3B、3N：控制电路部

3a：控制部

3b：检查控制部

3c：装载互锁控制部

3d：连接控制部

3e：记忆部

3e1：工作表

3e2：状况文档

3f：优先判定部

3g：询问部

3h：收发部

4：检查室

5、5A、5B、5N、15A、15B：装载互锁室

6、6A1、6A2、6B1、6B2、6N1、6N2、16：连接切换装置

7、7A、7B、17：装载互锁粗抽用真空泵

8：网络

A、B：检查装置

S1～S19、S21～S23：步骤

ta～t1：时点

T1、T2、Ta、Tb：检查时间

Tv：抽真空时间

Tw：等待时间

具体实施方式

以下，一面参照附图，一面详细地对本发明的实施方式进行说明。

图1、图2是用以对本发明的液晶阵列检查装置系统1的概略构成进行说明的图。图1表示利用一台装载互锁粗抽用真空泵来对多台液晶阵列检查装置进行抽真空的构成例，图2表示利用较液晶阵列检查装置的台数更少的多台装载互锁粗抽用真空泵来对多台液晶阵列检查装置进行抽真空的构成例。图2中表示了装载互锁粗抽用真空泵为2台的例子。

在图1所示的构成中，本发明的液晶阵列检查装置系统1包括多台液晶阵列检查装置2(2A、2B、…、2N)、一台装载互锁粗抽用真空泵7、以及切换自如地将该装载互锁粗抽用真空泵7与各液晶阵列检查装置2(2A、2B、…、2N)之间予以连接的连接切换装置6(6A、6B、…、6N)。

另外，在图2所示的构成中，本发明的液晶阵列检查装置系统1包括多台液晶阵列检查装置2(2A、2B、…、2N)、台数较液晶阵列检查装置2的台数更少的装载互锁粗抽用真空泵7(7A、7B)、以及切换自如地将该装载互锁粗抽用真空泵7(7A、7B)与各液晶阵列检查装置2(2A、2B、…、2N)之间予以连接的连接切换装置6(6A、6B、…、6N)。

各液晶阵列检查装置2包括对液晶基板的阵列进行检查的检查室4、以及在检查室4与大气侧之间将液晶基板予以导入以及导出的装载互锁室5，另外包括控制电路部3，该控制电路部3除了包括对检查动作进行控制的控制部的构成之外，还包括用以优先地对装载互锁室进行抽真空处理的构成。

检查室4、装载互锁室5、以及对检查动作进行控制的控制部可与通常的液晶阵列检查装置所具有的构成相同，因此，省略此处的详细说明。

多台液晶阵列检查装置2(2A、2B、…、2N)的各控制电路部3设为如下的构成，即，借由网络(network)8而被连接，且共用各液晶阵列检查装置2所保持的数据(data)。

当各液晶阵列检查装置2(2A、2B、…、2N)对液晶基板的阵列进行检查时，各装载互锁室5(5A、5B、…、5N)打开闸门，将液晶基板(未图示)导入至内部，关闭闸门之后，借由装载互锁粗抽用真空泵7来对装载互锁室5(5A、5B、…、5N)内进行抽真空，使装载互锁室5(5A、5B、…、5N)内成为真空状态。将装载互锁室5(5A、5B、…、5N)与对应的检查室4(4A、4B、…、4N)之间的闸门予以开放，接着将已导入至装载互锁室5(5A、5B、…、5N)内的液晶基板导入至检查室4(4A、4B、…、4N)内。

在检查室4(4A、4B、…、4N)中对液晶基板的阵列进行检查之后，使已检查的液晶基板返回至装载互锁室5(5A、5B、…、5N)，将装载互锁室5(5A、5B、…、5N)的大气侧的闸门予以打开，接着将所述已检查的液晶基板予以导出。

对于对所述装载互锁室5(5A、5B、…、5N)内进行抽真空的动作而言，在图1的构成中，由于装载互锁粗抽用真空泵7为一台，因此，在存在多个进行抽真空的装载互锁室5的情况下，仅可对任一个装载互锁室5进行抽真空。另外，在图2的构成中，由于装载互锁粗抽用真空泵7为2台，因此，在存在三个以上的进行抽真空的装载互锁室5的情况下，仅可对任意两个装载互锁室5进行抽真空。

本发明选择在多个进行抽真空的装载互锁室内，优先地进行抽真空的装载互锁室，并使其他装载互锁室处于待机状态，借此来使液晶阵列检查装置系统的整体的检查时间缩短。

接着，说明优先地进行本发明的装载互锁室的抽真空动作的优先判定条件。

在各液晶阵列检查装置与经由网络而彼此连接的其他液晶阵列检查装置之间，判定是否优先地对该液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空动作，当满足以下的优先判定条件时，优先地对该液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空动作，将装载互锁粗抽用真空泵切换连接至该装载互锁室。

在竞争地对装载互锁室进行抽真空的情况下，优先地对液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，并等待对另一个液晶阵列检查装置进行抽真空的优先判定条件为如下的三个条件：

第一条件：利用粗抽用真空泵来进行的抽真空在多个液晶阵列检查装置之间处于竞争状态。

第二条件：当对液晶阵列检查装置的检查时间、与竞争的其他液晶阵列检查装置的检查时间进行比较时，优先的液晶阵列检查装置的检查时间最短。

第三条件：当比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与优先的液晶阵列检查装置和竞争的液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间时，抽真空时间为差分时间以下。

当液晶阵列检查装置满足所述的优先判定条件时，将粗抽用真空泵连接于该液晶阵列检查装置的装载互锁室，优先地对该液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，并等待对竞争的其他液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空。

另一方面，在竞争地对装载互锁室进行抽真空的情况下，等待对液晶阵列检查装置的装载互锁室进行抽真空，并优先地对另一个液晶阵列检查装置进行抽真空的待机判定条件为如下的三个条件：

第一条件：利用粗抽用真空泵来进行的抽真空在多个液晶阵列检查装置之间处于竞争状态。

第二条件：当对液晶阵列检查装置的检查时间、与竞争的其他液晶阵列检查装置的检查时间进行比较时，待机的液晶阵列检查装置的检查时间比其他液晶阵列检查装置的检查时间更长。

第三条件：当比较对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间、与待机的液晶阵列检查装置和竞争的液晶阵列检查装置的检查时间的差分时间时，抽真空时间较差分时间更长。

第二条件以及第三条件是与优先判定条件的第二条件以及第三条件为排他性的关系。

以下，基于优先判定条件来进行说明。

图3(a)～图3(c)是用以说明优先地对本发明的装载互锁室进行抽真空的优先动作的图，与所述图12(a)～图12(c)同样地，该图3(a)～图3(c)是用以说明对检查时间短的类型与检查时间长的类型的液晶基板进行检查时的检查时间的关系的图。

该检查时间的关系是根据竞争地对装载互锁室进行抽真空的两个检查时间(T1、T2)的差分、与抽真空所需的抽真空时间Tv的关系而分为三种情况。图3(a)～图3(c)表示了抽真空时间Tv与竞争地进行抽真空的两个检查时间(T1、T2)的差分|T1-T2|的关系分别为Tv＝|T1-T2|的情况、Tv＞|T1-T2|的情况、以及Tv＜|T1-T2|的情况。再者，此处表示了检查时间T1较检查时间T2更长的情况，另外，表示了检查时间为T1的液晶阵列检查装置比检查时间为T2的液晶阵列检查装置先开始抽真空的情况。

再者，各图3(a)～图3(c)表示了两个液晶阵列检查装置的抽真空时间Tv、检查时间T1(液晶阵列检查装置A的检查时间)、检查时间T2(液晶阵列检查装置B的检查时间)、以及等待时间Tw。此处，检查时间表示液晶阵列检查装置的动作时间中除抽真空时间Tv之外的时间，该检查时间也包括对液晶基板进行检查所需的时间以外的时间。

在图3(a)中，Tv＝|T1-T2|的情况满足第三条件。在ta以及tb所示的时点，液晶阵列检查装置A与液晶阵列检查装置B的两个检查结束，满足优先判定条件的第一条件。此时，根据第二条件，使检查时间短的检查时间为T2的液晶阵列检查装置A优先，使检查时间长的检查时间为T1的液晶阵列检查装置B待机。

在优先地对液晶阵列检查装置A进行抽真空的抽真空时间Tv期间，液晶阵列检查装置B的抽真空是处于待机状态。借此，检查时间短的液晶阵列检查装置A可超越检查时间长的液晶阵列检查装置B而先进行检查。

接着，在图3(b)中，Tv＞|T1-T2|的情况满足第三条件。在tc以及tg所示的时点，液晶阵列检查装置B的检查时间T1结束。在该时点处尚未满足优先判定条件的第一条件。因此，液晶阵列检查装置B开始抽真空动作。然后，在td以及th所示的时点，在液晶阵列检查装置A的检查时间T2结束之后，两个液晶阵列检查装置A、B的抽真空的动作处于竞争状态，从而成为满足优先判定条件的第一条件的状态。此时，根据第二条件，使检查时间短的检查时间为T2的液晶阵列检查装置A优先，使检查时间长的检查时间为T1的液晶阵列检查装置B的抽真空动作中断。

在te以及ti所示的时点，经过液晶阵列检查装置A的抽真空时间Tv之后，使已中断的液晶阵列检查装置B的抽真空重新开始。液晶阵列检查装置B在tf以及tj所示的时点结束抽真空之后，使检查时间开始。另一方面，液晶阵列检查装置A在经过检查时间T2之后开始抽真空。

在优先地对液晶阵列检查装置A进行抽真空的抽真空时间Tv期间，液晶阵列检查装置B将抽真空予以中断而成为待机状态。借此，检查时间短的液晶阵列检查装置A可超越检查时间长的液晶阵列检查装置B而先进行检查。

使用图4(a)、图4(b)来对本发明的优先动作的作用效果进行说明。本发明使检查时间短的类型的液晶阵列检查装置比检查时间长的类型的液晶阵列检查装置更优先地对装载互锁室进行抽真空动作，借此，检查时间短的液晶阵列检查装置可超越检查时间长的液晶阵列检查装置而先进行抽真空并进行检查。

此处，所谓液晶阵列检查装置的抽真空的超越，是指在抽真空动作以及检查动作的周期中，滞后的另一个液晶阵列检查装置的检查周期赶上在前的液晶阵列检查装置的检查周期，接着，后开始的检查周期超越先开始的检查周期，通常，每当进行一次检查周期时，滞后的检查周期会挽回检查时间上的与差分时间相当的滞后量，从而接近于先行的检查周期。

检查时间短的液晶阵列检查装置超越检查时间长的液晶阵列检查装置时所需的检查周期的次数，例如可由max(T1、T2)/|T1-T2|的式子来求出。再者，max(T1、T2)表示检查时间T1与检查时间T2中的任一个较长的检查时间，|T1-T2|表示检查时间T1与检查时间T2的差分的正值。

图4(a)表示所述式子的值为“2”的情况。如图4(a)所示，当在液晶阵列检查装置B的检查结束之后，使液晶阵列检查装置A的检查开始时，在使包含检查时间T2、抽真空时间Tv、以及等待时间Tw的液晶阵列检查装置B的检查周期进行一次的期间，使包含检查时间T1与抽真空时间Tv的液晶阵列检查装置A的检查周期进行两次，借此，在每个检查周期中，液晶阵列检查装置A的检查周期以大致相当于|T1-T2|的时间量而接近于液晶阵列检查装置B的检查周期，在下一次的检查周期中，所述液晶阵列检查装置A的检查周期赶上先行的液晶阵列检查装置B的检查周期。

另外，图4(b)表示所述式子的值为“4”的情况。如图4(b)所示，当在液晶阵列检查装置B的检查结束之后，使液晶阵列检查装置A的检查开始时，在使包含检查时间T2、抽真空时间Tv、以及等待时间Tw的液晶阵列检查装置B的检查周期进行一次的期间，使包含检查时间T1与抽真空时间Tv的液晶阵列检查装置A的检查周期进行两次，借此，在每个检查周期中，液晶阵列检查装置A的检查周期以大致相当于|T1-T2|的时间量而接近于液晶阵列检查装置B的检查周期，在第四次的检查周期中，所述液晶阵列检查装置A的检查周期赶上先行的液晶阵列检查装置B的检查周期。

另一方面，在Tv＜|T1-T2|的情况下，由于不满足优先判定的第三条件，因此，不适用优先动作。

在Tv＜|T1-T2|的情况下，如图3(c)所示，在检查时间T1结束之前，检查时间T2结束，可在抽真空时间Tv的时间范围内进行抽真空之后前进至下一次的检查周期，因此，检查时间T2短的类型的液晶阵列检查装置A可超越检查时间T1长的类型的液晶阵列检查装置B而先进行检查。

图5(a)、图5(b)是用以对Tv＜|T1-T2|的情况的优先动作进行说明的图。图5(a)表示当Tv＜|T1-T2|时不进行优先动作的情况的例子，图5(b)表示当Tv＜|T1-T2|时进行优先动作的情况的例子。

对图5(a)的情况与图5(b)的情况进行比较，如图5(b)所示，在进行优先动作的情况下，在时点tk处使液晶阵列检查装置A优先，并使液晶阵列检查装置B处于待机状态，借此，液晶阵列检查装置B的检查时间在时点t1处开始，该时点较图5(a)的情况更迟，从而产生整体的检查时间变长的情况。

因此，在Tv＜|T1-T2|的情况下，根据条件3而不进行优先动作，借此来避免如上所述的不良情况。

接着，基于图6、图7的流程图来对本发明的动作进行说明。再者，图6、图7所示的流程图表示图1所示的构成例中的液晶阵列检查装置A的动作例。

液晶阵列检查装置A在对液晶基板进行检查的过程中，当开始对装载互锁室进行抽真空时(S1)，将询问信号发送至经由网络而连接的其他液晶阵列检查装置。在连接于网络的液晶阵列检查装置为两个的情况下，开始抽真空的液晶阵列检查装置将询问信号发送至另一个液晶阵列检查装置，借由以下S2～S18的步骤来进行与装载互锁室的抽真空相关的优先动作或待机动作。

另外，在连接于网络的液晶阵列检查装置为三个的情况下，开始抽真空的液晶阵列检查装置将询问信号发送至剩余的液晶阵列检查装置(S2)，在发送询问信号的各液晶阵列检查装置之间，借由以下S3～S18的步骤来进行与装载互锁室的抽真空相关的优先动作或待机动作。

由于在各液晶阵列检查装置之间，同样地判定是进行优先动作，还是进行待机动作，因此，以下，以从液晶阵列检查装置A向液晶阵列检查装置B发出询问的情况为例子来进行说明。

液晶阵列检查装置A从液晶阵列检查装置B接收答复信号，并从该答复信号中取得由液晶阵列检查装置B来对液晶基板进行检查时所需的检查时间Tb的工作(tack)时间信息、以及状况(status)信息，该状况信息例如为液晶阵列检查装置B是否正在进行抽真空动作，是否将要进行抽真空动作，或者既非正在进行抽真空动作，也非将要进行抽真空动作等。

图8(a)～图8(d)是对各液晶阵列检查装置所具有的工作时间信息以及状况信息进行说明的图。各液晶阵列检查装置包括记忆部，其将工作表以及状况文档(file)记忆于控制电路内的记录部。

在工作表中，记忆着所述液晶阵列检查装置的工作时间信息以及由答复信号获得的其他液晶阵列检查装置的工作时间信息。例如，记录着检查时间(在液晶阵列检查装置A的情况下，该检查时间为检查时间Ta)，并记录着从答复信号中取得的其他液晶阵列检查装置的检查时间(在从液晶阵列检查装置B接收答复信号的情况下，该检查时间为检查时间Tb)。

在状况文档中，记忆着所述液晶阵列检查装置的状况信息以及由答复信号获得的液晶阵列检查装置的状况信息。例如，在正在进行抽真空动作或将要进行抽真空动作的情况下，设定为“1”，在既非正在进行抽真空动作，也非将要进行抽真空动作的情况下，设定为“0”。

图8(a)表示工作表以及状况文档的一例。在图8(b)中，在液晶阵列检查装置A以及液晶阵列检查装置B均既非正在进行抽真空动作，也非将要进行抽真空动作的情况下，设定“0”作为两个液晶阵列检查装置的状况信息。在图8(c)中，在液晶阵列检查装置A正在进行抽真空动作或将要进行抽真空动作，且液晶阵列检查装置B既非正在进行抽真空动作，也非将要进行抽真空动作的情况下，设定“1”作为液晶阵列检查装置A的状况信息，并设定“0”作为液晶阵列检查装置B的状况信息。在图8(c)中，在液晶阵列检查装置A既非正在进行抽真空动作，也非将要进行真空抽吸动作，且液晶阵列检查装置B正在进行真空抽吸动作或将要进行真空抽吸动作的情况下，设定“0”作为液晶阵列检查装置A的状况信息，并设定“1”作为液晶阵列检查装置B的状况信息(S3)。

基于已取得的液晶阵列检查装置B的状况信息，来判定液晶阵列检查装置B是正在对装载互锁室进行抽真空或将要进行抽真空，还是既非正在进行抽真空，也非将要进行抽真空。该步骤是与所述优先判定的第一条件相对应的动作，在液晶阵列检查装置A与液晶阵列检查装置B之间，判定粗抽用真空泵的抽真空动作是否处于竞争状态(S4)。

当在S4的判定步骤中，判定为粗抽用真空泵的抽真空动作并未处于竞争状态时，重复S2～S4的步骤，直至在S12的步骤中，判定为连接于网络的其他全部的液晶阵列检查装置的抽真空动作并未处于竞争状态为止。再者，在所述重复步骤中，代替所述液晶阵列检查装置B，针对连接于网络的液晶阵列检查装置而依次进行所述步骤(S12)。当在液晶阵列检查装置A与除该液晶阵列检查装置A以外的全部的液晶阵列检查装置之间，判定为抽真空动作并未处于竞争状态时，使该液晶阵列检查装置A开始抽真空(S10)。

当在S4的判定步骤中，判定为粗抽用真空泵的抽真空动作处于竞争状态时，对液晶阵列检查装置A的抽真空时间Tv、与液晶阵列检查装置A的检查时间Ta和液晶阵列检查装置B的检查时间Tb的差分的绝对值|Ta-Tb|进行比较。该比较步骤是与所述优先判定的第三条件相对应的动作(S5)。

当在S5的判定步骤中，抽真空时间Tv小于检查时间的差分|Ta-Tb|时，使液晶阵列检查装置A开始抽真空(S10)。

当在S5的判定步骤中，抽真空时间Tv为检查时间的差分|Ta-Tb|以上时，对液晶阵列检查装置A的检查时间Ta与液晶阵列检查装置B的检查时间Tb进行比较。该比较步骤是与所述优先判定的第二条件相对应的动作(S6)。

当在S6的判定步骤中，检查时间Ta较检查时间Tb更短时，进行如下的指示，即，使液晶阵列检查装置A的抽真空优先，并使竞争的液晶阵列检查装置B中断抽真空动作(S11)，使液晶阵列检查装置A开始抽真空(S10)。

当在S6的判定步骤中，检查时间Ta为检查时间Tb以上时，使液晶阵列检查装置A处于等待开始抽真空的状态(S7)，将询问信号发送至液晶阵列检查装置B并接收答复信号，根据液晶阵列检查装置B的状况信息来监视抽真空动作(S8)，且待机直至竞争的液晶阵列检查装置B的抽真空动作完成为止(S9)，在竞争的液晶阵列检查装置B的抽真空动作完成之后，使液晶阵列检查装置A开始抽真空(S10)。

在液晶阵列检查装置A开始抽真空动作之后，当从其他液晶阵列检查装置接收中断信号时(S13)，使液晶阵列检查装置A的抽真空中断(S14)。

将询问信号发送至发送有中断信号的液晶阵列检查装置并接收答复信号(S15)，根据液晶阵列检查装置的状况信息来监视抽真空动作，且待机直至该液晶阵列检查装置的抽真空动作完成为止(S16)，在该液晶阵列检查装置的抽真空动作完成之后，使液晶阵列检查装置A重新开始抽真空(S17)。在液晶阵列检查装置A的抽真空动作完成之后(S18)，将液晶阵列检查装置A的状况文档中的液晶阵列检查装置A的状况信息改写为正在进行抽真空动作的状态(S19)。

图6、图7的流程图是在液晶阵列检查装置A与液晶阵列检查装置B之间进行的优先判定。

在三个以上的液晶阵列检查装置连接于网络的情况下，在液晶阵列检查装置A与液晶阵列检查装置B之间进行优先判定之后，在液晶阵列检查装置A与经由网络而连接的其他液晶阵列检查装置之间同样地进行优先判定。

图9是用以说明在经由网络而连接的液晶阵列检查装置之间进行的优先判定的流程图。在液晶阵列检查装置A与液晶阵列检查装置B之间进行优先判定(S21)，接着，在液晶阵列检查装置A与液晶阵列检查装置C之间进行优先判定(S22)，按照以下的顺序，在液晶阵列检查装置A与其他液晶阵列检查装置之间进行优先判定(S23)，接着依次重复所述优先判定。

图10是表示本发明的液晶阵列检查装置的一个构成例的方块图。再者，该构成例为一例，且并不限于该构成，除了可利用中央处理器(Central Processing Unit，CPU)与记录于存储器(memory)的程序(program)，借由软件(software)来实现该构成例之外，还可借由硬件(hardware)来实现该构成例。

液晶阵列检查装置2包括检查室4、装载互锁室5、以及对液晶阵列检查装置进行控制的控制电路部3。检查室4是在真空状态下，对液晶基板的阵列进行检查的腔室(chamber)。装载互锁室5是将未检查的液晶基板从大气侧导入至检查室4侧，并将已检查的液晶基板从检查室4侧导出至大气侧的腔室，装载互锁室5经由连接切换装置6而切换自如地连接于装载互锁粗抽用真空泵17(未图示)。

以下，将在液晶阵列检查装置2A与液晶阵列检查装置2B之间进行优先判定的情况表示为例子。

控制电路部3除了包括为了对液晶阵列进行检查而由液晶阵列检查装置所通常具有的控制部分之外，还包括进行本发明的特征性的抽真空的优先判定并进行优先动作的控制部分。

控制电路部3包括控制部3a，该控制部3a对整个液晶阵列检查装置进行控制，并且对优先判定及优先动作进行控制。控制部3a对检查控制部3b进行控制，从而控制在检查室4中进行的液晶基板的阵列检查。另外，控制部3a对装载互锁控制部3c进行控制，从而控制在装载互锁室5中进行的闸门的开闭。所述检查控制部3b以及装载互锁控制部3c的控制是在液晶阵列检查装置中所通常进行的控制。

控制电路部3包括连接控制部3d、记忆部3e、优先判定部3f、询问部3g、以及收发部3h，以作为进行本发明的特征性的抽真空的优先判定并进行优先动作的控制部分。

连接控制部3d对连接切换装置6进行控制，以对装载互锁室5与装载互锁粗抽用真空泵17(未图示)的连接切换进行控制，从而对装载互锁室5的抽真空以及大气导入进行控制。

记忆部3e包括工作表3e1以及状况文档3e2的记忆区域。工作表3e1除了将由液晶阵列检查装置2A来对液晶基板的阵列进行检查时所需的检查时间Ta记忆为工作时间信息之外，还将在进行优先判定时，从经由网络8而连接的其他液晶阵列检查装置2B取得的检查时间Tb记忆为工作时间信息。另外，工作表3e1将对装载互锁室进行抽真空所需的抽真空时间Tv记忆为工作时间信息。

状况文档3e2除了记忆着表示液晶阵列检查装置2A的装载互锁室是正在进行抽真空动作或将要进行抽真空，还是既非正在进行抽真空动作，也非将要进行抽真空的抽真空状态之外，还记忆着在进行优先判定时，从经由网络8而连接的其他液晶阵列检查装置2B取得的抽真空状态。

优先判定部3f在进行抽真空时，将记忆于记忆部3e的工作表3e1以及状况文档3e2的工作时间信息以及状况信息予以读入并进行优先判定。判定结果被发送至控制部3a，借由检查控制部3b来进行检查控制，以及借由连接控制部3d来对连接切换装置6的切换进行控制。

另外，当基于判定结果来使其他液晶阵列检查装置2B的抽真空中断时，针对询问部3g，对中断信号的发送进行控制。

询问部3g接收由控制部3a输出的抽真空指令之后，指示经由网络8而连接的液晶阵列检查装置发送至询问信号。另外，从收发部3h所接收的答复信号中，将工作时间信息以及状况信息发送至记忆部3e。

另外，当指示从优先判定部3f发送中断信号时，询问部3g指示将中断信号发送至收发部3h。

收发部3h经由网络8而发送来自询问部3g的询问信号或中断信号，另外，将经由网络8而接收的答复信号发送至询问部3g。

[产业上的可利用性]

本发明的液晶阵列检查装置所具有的抽真空动作的优先判定不限于适用在液晶基板的检查装置中，还可适用在其他半导体基板的检查装置中。