液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法

摘要

本发明是有关于液晶阵列检查装置以及其拍摄图像获取方法，消除基于移动台移动分辨率产生的拍摄范围累积误差，提高液晶阵列检查的缺陷检测的位置精度。液晶阵列检查装置对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对液晶基板照射电子束等带电粒子获得的二次电子等信号来拍摄液晶基板，基于通过拍摄获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列，液晶阵列检查装置检测使液晶基板移动的移动部的移动变动，基于移动变动修正移动部的移动速度及各拍摄时的移动间隔，修正累积误差。累积误差是基于移动间隔的修正的移动分辨率产生的误差量累积而产生。累积误差的修正是通过多次拍摄中每当规定拍摄次数将移动间隔修正仅移动部的移动分辨率的量而进行。