液晶アレイ基板レーサリペア裝置（ILR900）

摘要

ILR900は，液晶アレイ基板の欠陥をレーザで修復するリペア裝置として現在液晶ディスプレイ製造工場で稼働中である。 ILR900はぎ欠陥位置を±5 m以下の精度で同定し，的確にそ野欠陥形狀をオペレータが表示畫面上で確認できるユーザ本位の裝置であるp欠陥部の修復は4種類の波長（1064nm,532nm，355nm,または266nm）からリペア対象であるアレイ基板構成材科ごとに，リペア條件を選択設定して実行する。 欠陥位置ならびに欠陥情報はプアレイ工程の検査裝置から読み込みプリペア情報とリンクして効率的にオペレーションできるシステムであるぢ本裝置は欠陥アレイ基板を修復することで，より高歩留りを目指す液晶業界に寄與している.