液晶アレイ基板レーザかッタ裝置

摘要

レーザカッタは,ショートリングを検査の事前にレーザで切斷するユニットで,検査裝置2～3台に対して1台の割合で使用される．光學系には十分小さなレーザスポットを生成し,かつ実用上必要な±200mu m以上の焦點深度を両立させたレーザ光學系と正確なオートフォーカスおよび観察が可能なTV光學系が必要である。 本裝置では,ニれらの條件を満足させつつ，通常流通している安価な光學部品を使用してレーザカッタ用光學系を組み立て,実用上十分な性能であることを確認した。