在玻璃衬底上利用特定波长的光促进硅薄膜结晶的方法

摘要

本发明属于光学技术领域，涉及一种在玻璃衬底上利用特定波长的光促进硅薄膜结晶的方法，包括如下步骤：a、沉底材料的预处理；b、非晶硅薄膜的制备；c、多晶硅薄膜的制备，本发明方法与传统方法相比较，使用有利于晶化、可以控制波长的光照射，一方面可以提高硅薄膜的结晶效果，提高硅薄膜电池的效率和稳定性；另一方面因为去掉了传统光照方法中其他多余频率的光和有害的热能，所以降低了室内温度，从而可以使用廉价的低软化点玻璃，降低生产成本。总之，本方法使制备硅薄膜太阳能电池工艺简单和生产成本降低。