二氧化硅薄膜力学特性测试用薄膜的制备方法

摘要

一种微机电系统技术领域的二氧化硅薄膜力学特性测试用薄膜的制备方法，通过在硅片上依次热氧化生长一层二氧化硅薄膜并涂布一层光刻胶，然后将掩模板置于光刻胶正上方进行曝光并显影后将掩模板的图案转移到基片上，再采用电感耦合等离子刻蚀法进行刻蚀得到方腔结构，最后采用湿法刻蚀方腔结构得到硅支柱结构支撑下的二氧化硅薄膜。