利用原子层沉积技术制备二氧化硅薄膜实现有机电致发光器件柔性封装

摘要

薄膜封装是柔性有机电致发光显示器(Organic Light Emitting Display,OLED)阻隔水氧,保护有机材料和活性电极的最有效方法.本文重点研究使用原子层沉积(Atomic layer deposition,ALD)技术制备SiO2薄膜材料,通过对SiO2成膜参数,如功率,压力,气流量等因素的分析,探究薄膜生长过程以及应力的产生机制.并探究ALD-SiO2薄膜优异的三维保型性和对Particle的包覆能力以提高柔性AMOLED的封装稳定性.此实验中获得高致密性的ALD-SiO2薄膜,其水汽透过率可达5*10-4g/m2d.