Ⅲ族氮化物单晶锭、Ⅲ族氮化物单晶衬底、制造Ⅲ族氮化物单晶锭的方法及制造Ⅲ族氮化物单晶衬底的方法

摘要

本发明提供了Ⅲ族氮化物单晶锭、利用所述锭制造的Ⅲ族氮化物单晶衬底、制造Ⅲ族氮化物单晶锭的方法及制造Ⅲ族氮化物单晶衬底的方法，其中降低了在长度延长生长时的裂纹发生率。所述制造Ⅲ族氮化物单晶锭的方法包括：腐蚀底部衬底的侧面的步骤，以及在底部衬底上外延生长侧面具有晶面的六方晶系Ⅲ族氮化物单晶的步骤。为了降低在长度延长生长时锭的裂纹发生率，有必要抑制在单晶外周上析出多晶或具有不同面取向的晶体。如上所述，通过在底部衬底的侧面上预先腐蚀去除加工变质层，在底部衬底上形成的Ⅲ族氮化物单晶锭的侧面上形成晶面，抑制了多晶或具有不同面取向的晶体的析出，从而降低了裂纹发生率。