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粘着带的切断装置及切断方法、粘着带的粘贴装置及粘贴方法

摘要

本发明提供粘着带的切断装置及切断方法、粘着带的粘贴装置及粘贴方法。粘着带的切断装置具备:刀具(27),向接近和离开粘着带(2)的方向被驱动,在向接近方向被驱动时切断粘着带;保持块(38),在通过刀具切断粘着带时,阻止粘着带与离型带(8)一起因受到来自刀具的按压力而产生挠曲;粘贴部(28),与刀具一体设置,在通过刀具切断粘着带时,对粘着带的被刀具切断的部位的附近进行按压从而粘贴粘着带;以及压紧构件(33),对粘着带的被按压粘贴在粘贴部的部分的附近进行弹性按压,在粘着带被刀具切断后向离开所述粘着带的方向驱动该刀具时,该压紧构件弹性地且以非粘贴状态按压粘着带,直到粘着带的被粘贴在粘贴部的部分从离型带剥离为止。

著录项

  • 公开/公告号CN101883729A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-11-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 芝浦机械电子株式会社;

    申请/专利号CN200880118522.4

  • 申请日2008-11-12

  • 分类号B65H35/07;B26D1/06;

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人徐冰冰

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2023-12-18 01:13:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-01-04

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B65H35/07 授权公告日:20130612 终止日期:20151112 申请日:20081112

    专利权的终止

  • 2013-06-12

    授权

    授权

  • 2010-12-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):B65H35/07 申请日:20081112

    实质审查的生效

  • 2010-11-10

    公开

    公开

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过刀具(cutter)切断在离型带上粘贴的粘着带的粘着带的切断装置及切断方法以及将被切断的粘着带粘贴在基板上的粘着带的粘贴装置及粘贴方法。

背景技术

例如,在以液晶显示面板、等离子显示面板为代表的平板显示器等的制造工序中,有在玻璃制的基板的侧部上表面通过由各向异性导电性构件构成的粘着带来粘贴TCP(Tape Carrier Package:带载封装)等的电子部件的工序。

在将所述电子部件粘贴在所述基板的侧部上表面之前,有向基板的侧部上表面粘贴被切断为规定长度的所述粘着带的工序。粘着带粘贴在离型带上,它们被卷装在供给卷轴上。

在通过粘着带将电子部件粘贴在基板的侧部上表面的情况下,首先,将与离型带一起从供给卷轴放出的粘着带切断为规定长度。此时的粘着带的切断长度例如设定为与由设在所述基板的侧部上表面的多个端子构成的端子部的长度相对应的长度。

接着,例如通过夹具将被切断为规定长度的粘着带与所述离型带一起抽出,在以与载置在工作台上的基板的侧部上表面的所述端子部相对的方式进行了定位之后,通过加压工具将切断的粘着带加压粘贴在基板上。

然后,若已将粘着带粘贴在基板上,则通过离型辊从该粘着带剥离离型带。

在专利文献1中公开了下述内容:与离型带一起从供给卷轴放出粘着带,使被该粘着带的刀具切断的部位与保持块相对,在该状态下向上升方向驱动刀具并将所述粘着带切断为规定长度。

专利文献1:日本特开2003-51517号公报

所述刀具的前端部通常形成为越接近前端就越锋利的楔状,如图12A所示,通过该前端部,将所述粘着带a隔着离型带c按压在保持块b上来进行切断。此时,为了可靠地切断粘着带a,有时切断到所述离型带c的厚度的约一半的程度。即,将离型带c半切(halfcut)。

然而,若粘着带a被前端锋利的刀具切断、离型带c被半切,则由于粘着带a的粘性较强,因此粘着带a会被刀具的前端部推压至所述离型带c的半切部中并残留在其中。残留在粘着带a的半切部中的残留部分d不仅牢固地附着在切断部分中的离型带c的半切部中,还是没有与粘着带a分开的连续状态。

在这样的状态下将切断为规定长度的粘着带a如图12B所示加压粘贴在基板e上后,若例如通过剥离用的辊等将所述离型带c从粘贴在基板e上的粘着带a向箭头R方向剥离,没有从粘着带a断开而附着残留在离型带c的半切部中的残留部分d会导致粘着带a和离型带c一起卷起,在这样的情况下会导致粘着带a的粘贴不良。

另外,这样的粘着带a的卷起在如图12B所示的离型带c剥离开始的端部A会发生,在图12A所示的剥离结束的端部B不会发生。

发明内容

本发明提供一种粘着带的切断装置及切断方法、粘着带的粘贴装置及粘贴方法,所述装置及方法能够在将粘着带切断并粘贴在基板上之后剥离离型带时,以不使粘着带的端部卷起的方式切断粘着带。

为了解决所述课题,本发明是一种粘着带的切断装置,用于切断被粘贴在离型带上的粘着带,其特征在于,具备:刀具,向接近和离开所述粘着带的方向被驱动,在向接近方向被驱动时切断所述粘着带;保持构件,在通过该刀具切断所述粘着带时,阻止所述粘着带与所述离型带一起因受到来自所述刀具的按压力而产生挠曲;粘贴部,与所述刀具一体设置,在通过该刀具切断所述粘着带时,对该粘着带的被所述刀具切断的部位的附近进行按压从而粘贴所述粘着带;以及压紧构件,对所述粘着带的被按压粘贴在所述粘贴部的部分的附近进行弹性按压,在所述粘着带被所述刀具切断并向离开所述粘着带的方向驱动该刀具时,该压紧构件弹性地且以非粘贴状态按压该粘着带,直到所述粘着带的被粘贴在所述粘贴部的部分从所述离型带剥离为止。

此外,本发明是一种粘着带的切断装置,用于切断被粘贴在离型带上的粘着带,其特征在于,具有切断所述粘着带的刀具,该刀具相对于所述粘着带的宽度方向以规定的角度倾斜配置。

本发明是一种粘着带的切断装置,具备用于切断被粘贴在离型带上的粘着带的刀具,其特征在于,所述刀具形成为一侧面是垂直面,另一侧面是倾斜面,前端是平坦面,在所述刀具前进切断粘着带后而后退时,通过所述垂直面和所述粘着带被切断的面之间的接触阻力,所述粘着带的切断部分从所述离型带被剥离。

此外,本发明是一种粘着带的切断装置,具备用于切断被粘贴在离型带上的粘着带的刀具,其特征在于,还具备驱动机构,该驱动机构在向上升方向驱动所述刀具并切断所述粘着带之后,在使所述刀具下降之前,向与所述粘着带的切断方向交差的方向驱动该刀具。

此外,本发明是一种粘着带的切断方法,具备半切离型带并切断被粘贴在所述离型带上的粘着带的刀具,其特征在于,包括:通过所述刀具切断所述粘着带的工序;以及将被所述刀具切断了的所述粘着带的切断部位的附近从所述离型带剥离的工序。

此外,本发明是一种粘着带的粘贴装置,将粘贴在离型带上的粘着带切断为规定长度并粘贴在基板的上表面,其特征在于,具备:刀具,向接近和离开所述粘着带的方向被驱动,在向接近方向被驱动时切断所述粘着带;加压工具,将被该刀具切断为规定长度的所述粘着带与所述离型带一起向所述基板加压以使其粘贴在所述基板上;以及离型辊,在使轴线以相对于所述离型带的宽度方向相对地倾斜了规定的角度的状态下,从粘贴在所述基板上的粘着带剥离所述离型带。

此外,本发明是一种粘着带的粘贴方法,将粘贴在离型带上的粘着带切断为规定长度并粘贴在基板的上表面,其特征在于,包括:通过所述刀具切断所述粘着带的工序;将被所述刀具切断为规定长度的所述粘着带与所述离型带一起向所述基板加压以使其粘贴在所述基板上的工序;以及利用轴线使相对于所述离型带的宽度方向相对地倾斜了规定的角度的状态的离型辊,从粘贴在所述基板上的粘着带剥离所述离型带的工序。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的粘着带的粘贴装置的概略的构成图。

图2A是将切断为规定长度的粘着带粘贴在基板的一个侧部的端子部后的状态的俯视图。

图2B是在基板的一个侧部粘贴了电子部件的俯视图。

图3是通过切断装置的刀具来切断粘着带时的说明图。

图4是在通过所述刀具切断了粘着带之后刀具下降时的说明图。

图5是通过使所述刀具下降而粘着带的端部从离型带被剥离的状态的说明图。

图6是表示离型辊的配置状态的俯视图。

图7A是表示刀具相对于表示本发明的第二实施方式的离型带以及粘着带的配置的俯视图。

图7B是被刀具切断的粘着带的仰视图。

图7C是表示刀具的侧视图。

图8A是表示本发明的第三实施方式的刀具的侧视图。

图8B是粘着带的切断部分的放大剖视图。

图8C是通过刀具将粘着带的端部从离型带剥离的状态的说明图。

图9A是表示本发明的第四实施方式的刀具的侧视图。

图9B是表示刀具的动作的说明图。

图9C是粘着带的端部被刀具剥离的状态的说明图。

图10A是表示为了将粘着带切断为规定长度而形成了一对切断线的其他的实施方式的说明图。

图10B表示为了同样地将粘着带切断为规定长度而除去图10A中所形成的一对切断线的部分的其他的实施方式的说明图。

图11A是向基板粘贴粘着带时的俯视图。

图11B是在粘贴了粘着带粘贴之后,使基板与放置台(stage)一起旋转角度β时的俯视图。

图12A是表示以往的粘着带的切断部分的放大剖视图。

图12B是同样地将粘着带粘贴在基板上之后剥离离型带时的说明图。

具体实施方式

以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1~图6示出了本发明的第一实施方式的由各向异性导电性构件构成的粘着带2的粘贴装置,该粘贴装置具备基板放置台5。该基板放置台5具有基座6,在该基座6的上表面设有工作台7,该工作台7在X驱动源6a、Y驱动源6b以及θ驱动源6C的作用下,在X、Y以及θ方向上被驱动。

在所述工作台7上,如图2A所示,液晶显示面板等的贴合了2片玻璃板的基板W被供给并被吸附保持在所述工作台7上。在基板W的上表面的一个侧部上,沿着基板W的一侧的长度方向上以规定长度设有以规定间隔形成有多个端子1a的端子部1。

在所述端子部1上粘贴后述的被切断为规定长度的、由两面粘着性的各向异性导电构件构成的所述粘着带2。并且,如图2B所示,在粘着了粘着带2的端子部1上压焊了1个或多个TCP等电子部件3。

如图1所示,所述粘着带2的一侧面粘贴有由透光性的树脂带构成的离型带8,并被卷在供给卷轴9上,粘着带2以朝向下方的方式被一对引导辊11引导的部分与载置在所述工作台7上的所述基板W的端子部1的上表面相对地沿水平方向移动。

在所述工作台7的上方设有加压工具13,该加压工具13通过上下驱动机构14能够在图中箭头所示的上下方向上被驱动。粘着带2通过后述的切断装置23被切断为规定长度,若该切断后的部分被搬运到与工作台7上所载置的基板W的端子部1相对的位置,则在该位置停止。

停止后加压工具13下降,在所述基板W上粘贴粘着带2被切断为规定长度后的部分。然后,通过被驱动机构16一体地向箭头-X方向驱动的第一、第二离型辊10a、10b而从粘着带2剥离所述离型带8,并将所述离型带8卷绕在卷绕卷轴12上。

如图1所示,所述第一离型辊10a配置为位于离型带8的下表面侧。第二离型辊10b与所述第一离型辊10a相比位于粘着带2的输送方向(图1以及图6中表示为+X)的上流侧,该第二离型辊10b与所述第一离型辊10a配置为轴线平行。所述第一、第二离型辊10a、10b如图6所示,配置为轴线O相对于与所述离型带8的宽度方向平行的直线L以表示为β的规定的角度倾斜。

因此,若通过驱动机构16在图1所示的箭头-X的方向上驱动第一、第二离型辊10a、10b,则离型带8从位于基板W上粘贴的粘着带2的输送方向上的上流侧的宽度方向的一端(图6中用E1表示)开始向另一端(图6中用E2表示)逐渐剥离。

所述粘着带2和离型带8的搬运是通过作为搬运机构的输送装置20而进行的。该输送装置20具有形成为能够夹持离型带8的夹具21。该夹具21被未图示的引导体引导且不可旋转,通过被伺服马达22b旋转驱动的驱动螺杆22a而被直线驱动。

因此,在所述夹具21夹持离型带8的状态下,若旋转驱动所述驱动螺杆22a,将该夹具21向图1中箭头+X所示的方向驱动,则粘着带2与所述离型带8一起向+X方向被搬运,使得该粘着带2能够定位在规定的位置,即与基板W的端子部1相对的位置。

在搬运方向上相对于基板W的上流侧,通过所述切断装置23将所述粘着带2切断为规定长度。该切断装置23如图3和图4所示具有作为驱动机构的缸体25,使该缸体25配置为轴线垂直且配置在所述粘着带2的下方。在该缸体25的连杆(rod)25a上安装有驱动构件26。通过缸体25在图1中箭头所示的上下方向上驱动该驱动构件26。

在所述驱动构件26的上表面的位于所述粘着带2的搬运方向的下流侧的一个端部直立设置有刀具27。该刀具27具有形成为前端锋利的楔状的歯部27a,并且在该歯部27a的位于所述粘着带2的搬运方向的上流侧的一侧,一体形成有上端为平坦面28a的粘贴部28。该平坦面28a形成为位于比所述歯部27a的前端低规定尺寸的位置。

如后所述,在所述刀具27的歯部27a切断所述粘着带2并且半切了所述离型带8时,在被所述粘着带2的刀具27切断的部位附近,所述粘贴部28的平坦面28a按压在搬运方向的上流侧的部分。

所述平坦面28a例如形成为粗糙面,以便容易粘贴所述粘着带2。由此,所述粘着带2的被所述平坦面28a按压的部分会变得粘贴在该平坦面28a上。

在所述驱动构件26的上表面的位于所述粘着带2的搬运方向的上流侧的另一端部设有支持片31。在该支持片31上形成有保持孔32,该保持孔32中以能够在上下方向上滑动的方式支撑着压紧构件33。

所述压紧构件33的上端面33a形成为,在如后所述地按压粘着带2时,该上端面33a不粘贴该粘着带2的非粘贴面。非粘贴面例如是通过用硅树脂或氟系树脂等具有光滑性的树脂来涂层而形成的。

所述压紧构件33上形成有下端面开放的保持孔34。该保持孔34中收容有弹簧35,该弹簧35对所述压紧构件33施加朝向上升方向的作用力。另外,在压紧构件33的下端设有凸缘36,该凸缘36能够阻止因弹簧35而受到朝向上升方向的作用力的所述压紧构件33从所述保持孔34脱出。

在所述压紧构件33因弹簧35而受到朝向上升方向的作用力的状态下,压紧构件33的上端面33a位于与所述刀具27的歯部27a的前端相等或略微上方的位置。在本实施方式中设定为略微高的位置。

在所述切断装置23的上方隔着所述粘着带2设置有作为保持构件的保持块38。一边使粘贴在所述粘着带2的上表面的离型带8的上表面与所述保持块38的下表面接触一边输送离型带8。

在离型带8与保持块38的下表面接触的状态下,所述缸体25动作而向上升方向驱动驱动构件26,粘着带2通过所述压紧构件33的上端面33a而被按压保持在所述保持块38的下表面。

若进一步向上升方向驱动驱动构件26,则压紧构件33使弹簧35压缩变形并相对地向下方位移。接着,设置在所述驱动构件26上的刀具27的歯部27a的前端切断粘着带2。然后,若驱动驱动构件26直到上升极限为止,则所述刀具27切断粘着带2,并且上升至切断离型带8的厚度方向的约一半的半切的位置。

在所述驱动构件26被驱动到上升极限后,若向下降方向驱动所述驱动构件26,则刀具27与驱动构件26一起下降,但由于压紧构件33受到弹簧35的复原力,上端面33a持续按压粘着带2。

若所述刀具27进一步下降,则由于粘着带2被粘贴在与刀具27一体形成的粘贴部28的平坦面28a上,因此如图5所示,粘着带2的被刀具27切断的部分的位于搬运方向的上流侧的端部从所述离型带8被剥离。

此时,粘着带2的被刀具27切断的部分的上流侧的部分通过压紧构件33而被弹性保持,因此,所述粘着带2的被切断的端部能够可靠地从所述离型带8剥离。

接着,对通过所述构成的粘贴装置在基板W的侧边部粘贴粘着带2的情况进行说明。

首先,通过所述切断装置23将所述粘着带2切断为规定长度。即,若粘着带2被输送装置20输送并被进行了定位,则缸体25动作而向上升方向驱动驱动构件26。

若所述刀具27被驱动到上升极限,则该刀具27切断粘着带2,并半切离型带8。与此同时,粘着带2的被刀具27切断的部分的附近被压紧构件33的上端面33a按压保持。

若所述刀具27被驱动到上升极限而粘着带2的切断结束,则向下降方向驱动所述刀具27。在所述刀具27上形成有粘贴部28,在该粘贴部28的平坦面28a上粘贴有所述粘着带2的被所述刀具27切断的部位的输送方向的上流侧的端部。

因此,在切断粘着带2后,若向下降方向驱动刀具27,则如图5所示所述粘着带2的被切断的部分的搬运方向上流侧的端部被所述粘贴部28向下方拉拽,从而从所述离型带8剥离。

由此,粘着带2的被刀具27切断的切断部位的搬运方向上流侧的端部能够可靠地从残留在离型带8的半切部的所述粘着带2的残留部分2a分离。

这样,若粘着带2被所述切断装置23切断为规定长度,则通过输送装置20将所述粘着带2与离型带8一起搬运并定位,以使该切断的部分与基板W的端子部1相对。

若粘着带2被定位,则向下降方向驱动加压工具13并对所述粘着带2的被切断为规定长度的部分加压使其粘贴在基板W的一个侧部的上表面的端子部1上。若在粘贴粘着带2后加压工具13上升,通过驱动机构16向-X方向驱动一对离型辊10a、10b,从而使离型带8从粘着带2剥离。

此时,离型带8开始剥离的粘着带2的端部,即粘着带2的位于被刀具27切断的部位的搬运方向上流侧的端部,如上所述能够与残留在离型带8的半切部中的残留部分2a可靠地分离。

因此,在通过离型辊10a、10b开始剥离离型带8时,粘着带2的端部不会由于残留在半切部中的残留部分2a而被离型带8拉拽,因此能够从所述粘着带2剥离所述离型带8,而所述粘着带2的端部不会从基板W卷起。

所述离型辊10a、10b相对于离型带8的宽度方向以倾斜角度β而设置。因此,在驱动机构16向-X方向驱动离型辊10a、10b从而从粘着带2剥离离型带8时,离型带8从位于粘着带2的输送方向的上流侧的宽度方向的一端E1开始逐渐剥离。

由此,在从粘着带2剥离离型带8时,由于减小了离型带8拉拽粘着带2的力,因此即使假设残留在离型带8的半切部中的残留部分2a和粘着带2没有可靠地断开,也能够从所述粘着带2剥离所述离型带8,而被粘贴在基板W上的粘着带2不会从基板W卷起。

此外,在从粘着带2剥离离型带8时,由于是从宽度方向的一端E1逐渐地剥离,与在整个宽度方向上同时剥离的情况相比,在粘着带2的单位面积上施加的拉力增大。

因此,随着一对离型辊10a、10b的驱动,粘着带2的残留在离型带8中的残留部分2a被可靠地切断,由此也能够防止粘着带2从基板W卷起。

图7A、图7B、图7C示出了本发明的第二实施方式。构成该实施方式中的切断装置的刀具27相对于粘着带2的宽度方向以倾斜角度θ而配置。所述刀具27与第一实施方式相同,通过缸体25在上下方向上被驱动。

如图7B中的切断线S所示,若通过所述刀具27斜着切断粘着带2,则在粘着带2粘贴在基板W上并通过离型辊10a、10b剥离离型带8时,位于粘着带2的搬运方向上流侧的前端面以角度θ倾斜。

因此,与刀具27相对于粘着带2的宽度方向而正交的情况相比,残留在离型带8的半切部中的粘着带2的残留部分2a和离型带8开始剥离的粘着带2的倾斜的前端之间连接非常小,连接强度也低,从而能够在粘着带2的端部不从基板W卷起的情况下剥离离型带8。

另外,所述第一实施方式所示的刀具27也可以如第二实施方式的刀具27那样相对于粘着带2的宽度方向以角度θ倾斜配置。

图8A、图8B、图8C示出了本发明的第三实施方式。该实施方式是构成切断装置的刀具127的断面形状的变形例。如图8A所示,该刀具127位于粘着带2的搬运方向上流侧的一侧面形成为垂直面127a,位于下流侧的另一侧面形成为倾斜面127b,上端面为平坦面127c。

而且,所述刀具127与第一实施方式相同,通过作为驱动机构的缸体25在图8A中的箭头所示的上下方向上被驱动。另外,刀具127的垂直面127a形成为粘着带2容易粘贴的粗糙面。

若通过所述构成的刀具127来切断粘着带2,则粘着带2的被切断的部分被所述刀具127的平坦面127c断开。而且,所述刀具127的位于粘着带2的搬运方向上流侧的一侧面是垂直面127a,位于下流侧的另一侧面是倾斜面127b。

因此,如图8B所示,被所述刀具127切断的粘着带2的、残留在离型带8的半切部中的残留部分2a,变为利用所述刀具127的垂直面127a而与所述粘着带2的上流侧的端部之间断开的状态。

而且,若在半切了离型带8并切断了粘着带2之后,向图8C中的箭头所示的下降方向驱动刀具127,则在所述刀具127上升时被垂直面127a切断的粘着带2的上流侧的端面与形成为粗糙面的所述垂直面127a滑动接触或粘贴而被压向下方,粘着带2的切断部位的上流侧的端部从离型带8被剥离。

由此,即使粘着带2的切断部位的上流侧的端部与残留在半切部中的残留部分2a连续,由于能够从该残留部分2a可靠地断开,因此在向基板W粘贴被切断为规定长度的粘着带2之后剥离离型带8时,能够防止所述粘着带2的端部因离型带8而卷起。

图9A、图9B、图9C示出了本发明的第四实施方式。构成该实施方式的切断装置的刀具27的断面形状与第一、第二实施方式相同,虽然是楔形,但驱动刀具27的驱动机构与第一,第二实施方式不同。

即,所述驱动机构是X·Z驱动源41,该X·Z驱动源41在图9A中的箭头X所示的沿着粘着带2的长度方向的水平方向(X方向)以及箭头Z所示的上下方向即Z方向上驱动所述刀具27。该X·Z驱动源41从图9B中S 1所示的下降的初始位置开始向S2所示的+Z方向的上升位置驱动该刀具27,使该刀具27以半切离型带8的状态切断粘着带2。

接着,在朝向S3所示的-X方向,即朝向粘着带2的输送方向的上流侧稍微驱动后,向S4所示的-Z方向即下降方向驱动,然后向S1所示的+X方向驱动而使刀具27返回初始位置。

这样,若在所述刀具27切断了粘着带2之后向-X方向驱动所述刀具27,则粘着带2的切断部位的位于上流侧的端部被所述刀具27的侧面向-X方向推压。接着,刀具27向-Z所示的方向下降。

若刀具27向-Z方向下降,则所述粘着带2的切断部位的上流侧的端部如图9C所示,因与刀具27之间的接触阻力而从离型带8剥离,因此能够可靠地与残留在离型带8的半切部中的粘着带2的残留部分2a分离。

因此,在向基板W粘贴被切断为规定长度的粘着带2之后,当从该粘着带2剥离离型带8时,能够从粘着带2剥离离型带8,并且成为剥离端的、所述粘着带2被切断时的上流侧的端部不会因残留在离型带8的半切部中的残留部分2a而卷起。

在所述各实施方式中,在将粘着带2切断为规定长度时,如图10A所示,也可以在粘着带2上以狭窄的间隔在2个部位形成切断线S,如图10B所示那样除去在一对切断线S之间的部分,在被切断为规定尺寸的粘着带2间形成缺口部42。

这样的情况下,如所述的第一~第四实施方式所示,也可以通过使在离型带8的半切部中所残留的粘着带2的残留部分2a与粘着带2的位于搬运方向下流侧的端部分离,能够可靠地进行离型带8的剥离。

在所述的第二~第四实施方式中,与第一实施方式相同,在向基板W粘贴了粘着带2之后剥离离型带8时,一对离型辊10a、10b相对于离型带8的宽度方向以角度β倾斜,从而能够剥离离型带8,而被粘贴在基板W上的粘着带2不会从基板W卷起。

在第一实施方式中,第一、第二离型辊10a、10b的轴线O配置为相对于与所述离型带8的宽度方向平行的直线L以图6中的β所示的规定的角度倾斜,如图11A所示,配置为一对离型辊10a、10b的轴线与沿着离型带8的宽度方向的直线平行。即,第一、第二离型辊10a、10b的轴线O配置为与载置了基板W的放置台5的沿着Y方向(图11A所示)的移动方向平行。

而且,在通过加压工具13将粘着带2粘贴在基板W上之后且离型带8的剥离开始之前,如图11B所示,通过θ驱动源6C使放置台5与基板W一起在水平方向上旋转角度β。

由此,粘贴在粘着带2上的离型带8与基板W一起相对于一对离型辊10a、10b的轴线O以角度β倾斜。因此,若在该状态下通过驱动机构16向图1所示的-X方向驱动离型辊10a、10b,则离型带8从粘贴在基板W上的粘着带2的宽度方向一端开始向另一端逐渐剥离,从而能够剥离离型带8而粘着带2不会从基板W卷起。

即,只要使离型辊10a、10b或离型带8中的某一方倾斜,即使离型辊10a、10b和离型带8相对地倾斜角度β,并在该状态下从粘着带2剥离离型带8,就能够从粘着带2的宽度方向的一端向另一端逐渐剥离,剥离时离型带8向粘着带2施加的拉力降低,能够防止粘着带2的卷起。

此外,在从粘着带2剥离离型带8时,由于是从宽度方向的一端逐渐剥离,因此与在整个宽度方向上同时剥离的情况相比,施加在粘着带2的单位面积上的拉力增大。

因此,随着一对离型辊10a、10b的驱动,能够可靠地切断粘着带2的残留在离型带8中的残留部分2a,因此,通过这样能够防止粘着带2从基板W卷起。

若使离型辊10a、10b和离型带8相对地倾斜角度β,则构成切断粘着带2的切断装置的刀具也可以是第一~第四实施方式所示的构造以外的构件。即,在通过切断装置切断粘着带2时,即使粘着带2和残留在离型带8中的粘着带2的残留部分2a没有被可靠地断开,也能够剥离离型带8,并使粘着带2不从基板W卷起。

此外,也可以使离型辊10a、10b和离型带6两者向相反方向倾斜,使离型辊10a、10b和离型带6两者相对倾斜。

此外,虽然说明了在切断粘着带2时半切离型带6的例子,但即使在不半切离型带6的情况下,在切断粘着带时粘着带被刀具强烈按压而其一部分会附着残留在离型带6上,在这样的情况下也可以适用于本发明,从而能够剥离离型带6,并且被粘贴在基板上的粘着带2不会卷起。

工业实用性

根据本发明,在粘着带被刀具切断,并将粘着带的切断部位的附近从离型带剥离时,能够剥离离型带,并且粘着带的端部不会卷起。

此外,在从粘贴在基板上的粘着带剥离离型带时,由于使离型辊的轴线相对于离型带的宽度方向相对倾斜地进行剥离,因此,离型带从被切断的粘着带的宽度方向的一端开始逐渐被剥离。因此,能够减小从粘着带剥离离型带时的粘着阻力,从而能够剥离离型带,并且粘着带的端部不会卷起。

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