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红外光学元件表面成型类金刚石膜工艺

摘要

本发明涉及一种红外光学元件表面成型类金刚石膜工艺,其特征在于:首先向碳膜机内放置单晶硅的基片,接着在碳膜机内抽真空,碳膜机内的工作气压为1.3×10

著录项

  • 公开/公告号CN101831625A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-09-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏南晶红外光学仪器有限公司;

    申请/专利号CN201010185770.X

  • 发明设计人 谷华;陈国清;李爽;

    申请日2010-05-28

  • 分类号C23C16/27;C23C16/02;G02B1/10;

  • 代理机构苏州广正知识产权代理有限公司;

  • 代理人张利强

  • 地址 213118 江苏省常州市武进区芙蓉镇常芙路115号

  • 入库时间 2023-12-18 00:48:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-10-24

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/27 申请公布日:20100915 申请日:20100528

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-12-15

    著录事项变更 IPC(主分类):C23C16/27 变更前: 变更后: 申请日:20100528

    著录事项变更

  • 2010-11-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20100528

    实质审查的生效

  • 2010-09-15

    公开

    公开

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