一种将GDSⅡ文件转换为无掩模光刻机曝光数据的方法

摘要

本发明公开了一种将GDSII文件转换为无掩模光刻机曝光数据的方法。首先将GDSII中的矢量图形统一转换为多边形，再将每层大图分解为一系列曝光区域。将曝光区域中的多边形利用四叉树图形分割法将其分解为矩形，再将一个曝光区域的图形存储为几个位图文件，借助光刻机平台的高精度性，实现了用低分辨率位图曝光出高分辨率图形的效果。