机译:互补双曝光技术(CODE):一种使用双曝光二进制掩模方法打印80纳米和65纳米栅极电平的方法
ArF; 90-nm node; 65-nm node; Complementary double exposure; Double mask exposure; Resolution enhancement technique;
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机译:使用反光刻的双曝光掩模合成
机译:通过电子束光刻通过合成双曝光方法在安全应用中使用的二进制计算机生成全息图
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机译:光刻技术的应用:用于双曝光光刻的材料建模和形状编码生物传感器阵列的开发
机译:基于二元掩模超声变形场的放射治疗伪CT成像技术研究
机译:用于双重曝光,明场交替相移掩模版图的新图形二等分