用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器

摘要

本发明用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器，涉及专门用于把弥散粒子从气体中分离出来的采用刚性空心滤体的粒子分离器，由外壳、堵塞物、隔离网、筛网和夹具构成，外壳是圆柱形的中空水套，堵塞物是卷成圆柱状不锈钢网或不锈钢丝的球状物，隔离网是由不锈钢丝制成，筛网是6～10层耐腐蚀金属丝网，堵塞物直接放置在过滤器进气口一端的外壳内部，隔离网直接放置在外壳内部位于堵塞物与夹具之间的位置，筛网分层安置在过滤器出气口一端，通过夹具固定在外壳内部。本发明降低甚至消除氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓过程中产生的氯化铵粉尘、镓蒸气和氯化镓蒸气，保护了操作人员、环境和真空泵，优化生产工艺和氮化镓的生长质量。