法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B7/188 申请公布日:20100630 申请日:20091215
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/188 申请日:20091215
实质审查的生效
2010-06-30
公开
公开
机译: 具有包括凹面镜和凸面镜的收集器的光刻投影设备
机译: 具有具有凹面镜和凸面镜的收集器的光刻投影设备
机译: 带有凹面镜和凸面镜的带有收集器的光刻投影设备