公开/公告号CN101409974A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN200710175814.9
申请日2007-10-12
分类号H05H1/46;H01L21/00;H01L21/02;
代理机构北京凯特来知识产权代理有限公司;
代理人赵镇勇
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼
入库时间 2023-12-17 21:44:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-07
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/00 申请公布日:20090415 申请日:20071012
发明专利申请公布后的驳回
2009-11-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-15
公开
公开
机译: 等离子体反应器,由于添加了气体,具有改善的等离子体均匀性,减小的腔室直径和减小的RF晶片基座直径
机译: 等离子体反应器,通过添加气体改善了等离子体的均匀性,减小了腔室的直径,减小了RF晶片的基座直径
机译: 具有改善的温度均匀性的等离子体反应室组件及其使用方法