基于质谱诊断的C4H8/H2等离子体状态在放电腔室的径向分布研究

摘要

利用质谱研究了不同工艺参数下C4H8/H2等离子体的离子组分和能量的径向分布规律,并分析了CH片段的裂解与聚合过程.结果表明,当工作压强较低时(≤7 Pa),小分子CH片段的相对密度随径向距离的增大而逐渐减小,大分子CH片段则逐渐增多;随着工作压强的增大,CH片段的相对密度达到极值所对应的径向距离逐渐增大.当射频功率一定时,小分子CH片段的相对密度随径向距离增大而减小,大分子CH片段则逐渐增多.此外,离子能量随径向距离的增大均呈现出逐渐减小的趋势.当工作压强为3 Pa、射频功率为20 W时,C4H8/H2等离子体中CH片段的径向分布最均匀,有利于提高辉光放电聚合物薄膜结构与组分的均匀性.