公开/公告号CN101414573A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 上海宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN200710047241.1
申请日2007-10-19
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所;
代理人屈蘅
地址 201203 上海市张江高科技圆区郭守敬路818号
入库时间 2023-12-17 21:44:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-27
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/762 公开日:20090422 申请日:20071019
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/762 申请日:20071019
实质审查的生效
2009-04-22
公开
公开
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