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公开/公告号CN101376491A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-03-04
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN200710121076.X
发明设计人 易亮;欧毅;陈大鹏;景玉鹏;叶甜春;
申请日2007-08-29
分类号B81C1/00;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-17 21:32:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B81C1/00 公开日:20090304 申请日:20070829
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-04-29
实质审查的生效
2009-03-04
公开
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