晶片检测装置用载片台及具备该载片台的晶片检测装置

摘要

本发明涉及晶片检测装置用载片台，设在晶片检测装置，用于支撑晶片，具备冷却流路，并沿着上述冷却流路通过空气来冷却上述载片台，上述冷却流路包括：冷却路，不同直径的多个C型环以其中任何一个C型环的一端连接邻接的另一个C型环的一端的形态形成一个通道，上述多个C型环的中心对应上述载片台的中心；第一连通路，将上述多个C型环中最大直径的C型环的另一端与上述载片台的外部连通；及第二连通路，将上述多个C型环中最小直径的C型环的另一端与上述载片台的外部连通。利用本发明的晶片检测装置用载片台及具备这些载片台的晶片检测装置，通过向上述冷却流路通过冷却空气，能够迅速冷却载片台。