化合物半導体向けウェハー検査装置

摘要

東京エレクトロンデパイス㈱(TED、横浜巿神奈川区金港町1-4、045-443-4000)は、マクロ検査装置「RAYSENS」(レイセンス、写真)を開発し、販売を開始した。