平膜式气体流量传感器及其制造方法

摘要

平膜式气体流量传感器及其制造方法。它涉及流量传感器领域，它解决了气体流量传感器结构尺寸较大、功耗较高，且不易于批量生产，成本较高的缺点。它的单晶硅片的上下表面分别生成绝缘层，在上部绝缘层上依次生成过渡层和敏感金属层，并刻蚀为加热电阻、测温热敏电阻和控制电阻并平行；电极透过覆盖在单晶硅片上表面的钝化保护层连接敏感金属层，单晶硅片底部开有沉槽和矩形导流槽，其开设方向分别平行和垂直电阻刻蚀方向。方法按以下顺序依次制作绝缘层、底面腐蚀窗孔、敏感金属层、金属薄膜电阻、钝化保护层、引线孔、电极和截面为杯形的沉槽和矩形导流槽至完成。它提高了传感器的稳定性和可靠性，具有响应速度快和灵敏度高、功耗低的特点。