公开/公告号CN101248518A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 斯盖沃克斯瑟路申斯公司;
申请/专利号CN200680006445.4
申请日2006-03-09
分类号H01L21/44;
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人杨晓光
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2023-12-17 20:41:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/44 公开日:20080820 申请日:20060309
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-10-15
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-08-20
公开
公开
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