法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-29
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/60 授权公告日:20090819 终止日期:20160809 申请日:20070809
专利权的终止
2009-08-19
授权
授权
2008-04-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-27
公开
公开
机译: 用于形成焊料凸块的模板,制造该模板的方法以及使用该模板检查焊料凸块的方法
机译: 用于形成焊料凸块的模板,制造该模板的方法以及使用该模板检查焊料凸块的方法
机译: 用于形成焊料凸块的模板,制造该模板的方法以及使用该模板检查焊料凸块的方法