SiO蒸镀材料、原料用Si粉末及SiO蒸镀材料的制造方法

摘要

本发明提供一种SiO蒸镀材料，其特征在于氢气含量在50ppm以下，在向基质蒸镀SiO时，可以抑制飞溅的发生，可以形成透明性和阻隔性出色的SiO蒸镀膜。通过脱气处理使这些原料用Si粉末的氢气含量在10ppm以下，可以以低成本且高效率地制造氢气含量在50ppm以下的SiO蒸镀材料。这样，本发明的SiO制造方法可以作为医疗用品和医药品等具有透明性的同时还具有阻隔性的包装材料的蒸镀材料的制造方法广泛使用。