公开/公告号CN1914537A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人 安捷伦科技有限公司;
申请/专利号CN200480034425.9
发明设计人 西村健;戴尔·W·施罗埃德尔;
申请日2004-12-14
分类号G02B26/00(20060101);G02B26/08(20060101);G02F1/29(20060101);G02F1/03(20060101);G02F1/01(20060101);G02F1/00(20060101);G02B26/02(20060101);
代理机构11258 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人柳春雷
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 18:16:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-02-11
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-05-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-14
公开
公开
机译: 空间光调制器和用于执行动态光刻的方法
机译: 用于动态光刻的空间光调制器中的缺陷缓解
机译: 用于动态光刻的空间光调制器中的缺陷缓解