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具有包括半导体纳米晶体的浮栅的非易失存储器件

摘要

一种用于场效应晶体管(150)的浮栅(156)(和其制造方法和形成均匀纳米颗粒阵列的方法)包括多个离散纳米颗粒(156),其中纳米颗粒的尺寸、间隔和密度中的至少之一被自组装材料做模板和限定。

著录项

  • 公开/公告号CN1799131A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2006-07-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国际商业机器公司;

    申请/专利号CN200480015225.9

  • 发明设计人 查尔斯·布莱克;凯思琳·瓜里尼;

    申请日2004-06-17

  • 分类号H01L21/336(20060101);H01L21/8246(20060101);H01L21/8247(20060101);H01L27/115(20060101);H01L29/788(20060101);H01L29/792(20060101);

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人张浩

  • 地址 美国纽约

  • 入库时间 2023-12-17 17:29:38

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-08-22

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/336 授权公告日:20100203 终止日期:20110617 申请日:20040617

    专利权的终止

  • 2010-02-03

    授权

    授权

  • 2006-08-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-07-05

    公开

    公开

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