激光掩模以及使用该激光掩模的结晶方法

摘要

激光掩模以及使用该激光掩模的结晶方法。提供了一种通过使用用于选择性地使有源区域结晶而无激光照射标记的激光掩模来进行结晶的方法，包括：提供阵列基板，在该阵列基板中限定有N×M个有源区域；在所述基板上方布置具有第一块和第二块的激光掩模，其中所述第一块和第二块分别具有第一和第二掩模图案，并且所述第二掩模图案是所述第一掩模图案的相反图案；通过所述第一块在所述有源区域上照射第一激光束；并且通过所述第二块在所述有源区域上照射第二激光束。