提高曝光直线的标准影像对数斜率的方法

摘要

本发明提供一种提高曝光直线的标准影像对数斜率的方法，所述方法包含有提供一光罩布局图，其应用于一Quasar 90照光中，且所述光罩布局图包含有至少一第一直线图案与平行于所述第一直线图案的一第二直线图案，以及于所述第一直线图案与所述第二直线图案之间加入一第一辅助图案，其中所述第一辅助图案包含有多个具有相同大小的几何图案，沿一第一直线方向排列，且所述第一直线方向平行于所述第一直线图案。