公开/公告号CN1667449A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 先进微系统科技股份有限公司;
申请/专利号CN200410039670.0
发明设计人 洪昌黎;
申请日2004-03-12
分类号G02B26/08;G03F7/00;H01L21/00;
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周长兴
地址 台湾省台北市
入库时间 2023-12-17 16:25:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-09-26
授权
授权
2005-11-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-14
公开
公开
机译: 用于测量材料机械特性的压头即纳米压头具有带梳状电极的梳状驱动致动器,该梳状电极的手指彼此平行排列,从而使手指根据施加的电压部分重叠
机译: 具有大定位距离的微定位系统,具有两个粘贴电极,弹簧单元和形成定位单元的静电执行器,其中执行器具有带梳状结构的电极,这些梳状结构相互交叉
机译: 压电致动器,特别是用于燃油喷射阀的同心致动器,包括带有涂层系统的基座,该基座具有两个与梳状电极布置相对应的部分接合的电极梳