...
机译:一种测量MEMS梳状致动器的微电容的方法
机译:一种测量MEMS梳状致动器的微电容的方法
机译:MEMS梳齿驱动器性能驱动的微细加工方法研究
机译:MEMS梳齿驱动器性能驱动的微细加工方法研究
机译:基于键合图的基于MEMS的梳齿驱动器建模与仿真
机译:用于微机电系统(MEMS)的叉指式角度-垂直-梳齿驱动执行器的开发。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:由桥梁和垂直梳状驱动器构成的三维sOI-mEms
机译:音频非线性:用于测量失真的梳状滤波器方法