介质膜构成体和利用该介质膜构成体的压电致动器及油墨喷头

摘要

一种介质膜构成体，具有基板和在该基板上设置的介质膜，其特征在于，介质膜相对于该基板具有(00l)面取向性，其中，该介质膜由下述式(1)表示，u为大于2的实数：u＝(Cc/Ca)×(Wa/Wc)……(1)。在上述式(1)中，Cc是面外X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的计数(在此，1′为Cc最大值时选定的自然数。)；Ca是面内X射线衍射测定的介质膜的(h′00)面的峰值的计数(在此h′为Cc最大值时选定的自然数。)；Wc是面外波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的半值宽度；Wa是面内波动曲线X射线衍谢测定的介质膜的(h′00)面的峰值的半值宽度。)