公开/公告号CN1505120A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-06-16
原文格式PDF
申请/专利权人 联华电子股份有限公司;
申请/专利号CN02153549.3
申请日2002-12-04
分类号H01L21/336;
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人陈红
地址 台湾省新竹市
入库时间 2023-12-17 15:22:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/336 授权公告日:20060920 终止日期:20141204 申请日:20021204
专利权的终止
2006-09-20
授权
授权
2004-08-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-06-16
公开
公开
机译: 通过从掺杂电介质间隔物中的杂质扩散形成超浅源极/漏极延伸的方法
机译: 使用磷形成超浅且高度活化的源极/漏极延伸层
机译: 形成超浅源极/漏极延伸的工艺